Gebraucht NIKON NSR S308F #293754616 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S308F
ID: 293754616
ArF Scanner.
NIKON NSR S308F ist ein leistungsfähiger Waferstepper auf Produktionsebene. Es wurde entwickelt, um überlegene Bildgebungsfunktionen und einen erhöhten Durchsatz zu bieten. Das S308F verfügt über eine fortschrittliche Optikausrüstung der nächsten Generation, die aus einer asphärischen kristallinen Kompressionslinse, fortgeschrittenen Beugungselementen, einem asphärischen reflektierenden Spiegel und einem Super-Auflösung-Schaltmaskenersteller besteht. Dieses Optiksystem erreicht eine überlegene Mustergenauigkeit und Genauigkeit der in Kontaktschichten und Gerätestrukturen notwendigen Feinstrukturierung hoher Dichte. Der proprietäre Auto-Focus-Algorithmus des Steppers, der die Optikeinheit automatisch anpasst, sorgt für einen genauen Fokus über den gesamten Wafer. Mit einer maximalen Feldgröße von 250 mm und einer Schärfentiefe von bis zu 3,5 mu ist das S308F in der Lage, jede Art von Lithographie einschließlich ArF, KrF, DUV und Bildgebung in belichteter gebleichter Masse unterzubringen. Das S308F ist für eine einfache Bedienung mit einer leistungsstarken Windows-basierten Maschine konzipiert, die eine intuitive Steuerung der Wafer-Bildgebung bietet. Das Tool integriert sich nahtlos in die Dateneingabe und Zusammenstellung in FabMaster und kann bis zu 1000 Waferbilder speichern. Es enthält auch ein Scanner-Tool und eine Verbindung zu den wichtigsten CAD-Systemen. Um eine hohe Produktivität zu gewährleisten, umfasst das S308F mehrere erweiterte Funktionen, einschließlich variabler Feldnähte, eine Echtzeit-Bildgebungseinrichtung mit CD-SEM-Mapping an bestimmten Orten, Fehlermarkeninspektion auf CD-SEM und eine verbesserte Bildkorrektureinrichtung zur Verbesserung der Bildhelligkeit, LER und CD. NSR S308F ist ein vielseitiger Wafer-Stepper für hohe Leistung bei minimalen Wartungsanforderungen. Die erweiterte Optik und die breite Palette an Wafer-Bildgebungswerkzeugen ermöglichen eine schnelle Einrichtung und zuverlässige Abbildung verschiedener Muster. Das einfach zu bedienende Windows-basierte Modell und die Integration mit CAD und Verarbeitungssoftware tragen ebenfalls zu seiner hohen Effizienz und Zuverlässigkeit bei. NIKON NSR S308F ist eine ausgezeichnete Wahl für Wafer-Stepper-Anwendungen auf Produktionsebene.
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