Gebraucht NIKON NSR S308F #293821681 zu verkaufen

NIKON NSR S308F ist ein Wafer-Stepper, der für hochpräzise Lithographieanwendungen in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist mit einer fortschrittlichen optischen Ausrüstung ausgestattet, die es ermöglicht, mehrere Schichten auf einem einzelnen Wafer in einer einzigen Belichtung zu drucken. Der Stepper liefert eine präzise kontrollierte Bildqualität über alle Schichten, einschließlich Feinmusterung für hochgenaue Herstellung und komplexe Schichtüberlagerungen. NSR S308F wird mit NIKON proprietärem In-Column Source Scanning System (ICSS) für höchste Genauigkeit während der Lithographie-Prozesse gebaut. Die ICSS verwendet spezielle Säulenquellen, um Licht zu zerstäuben und seine Gleichmäßigkeit und Genauigkeit zu maximieren. Dadurch wird sichergestellt, dass auf einem Wafer mit verschiedenen Bildtypen hochgenaue, hochauflösende Strukturen erzeugt werden können. Der Stepper ist mit einer Hochgeschwindigkeits-Waferstufe ausgestattet, die sich bis zu 100 mm/s in den X-Y-Achsen und 20 Grad/s in der θ -axis für Belichtung und Wafer-Handling-Geschwindigkeit bewegen kann. Die Bühne verfügt auch über eine fortschrittliche Vibrations-Steuereinheit, die C2C max bis 700 nm für überlegene Bildverarbeitung minimiert. NIKON NSR S308F enthält auch eine eingebaute Spiegelausrichtmaschine, die eine bessere Präzision in der Lithographie ermöglicht. Das Tool überwacht den Status der einzelnen Spiegel und die Gesamtausrichtung des optischen Assets. Das Modell bietet auch die automatische Einstellung von Laserstrahlen für eine optimale Ausrichtung der Optik und reduziert Fehlausrichtungsfehler von bis zu 3 μ m auf akzeptable 0,1 μ m. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine steife Rahmenkonstruktion, die ein Schütteln des Bildes auf dem Wafer verhindert. Der Rahmen unterstützt auch eine schnelle Wärmeableitung, was die optische Aberration insgesamt reduziert und den Kontrast verbessert. Dies reduziert die gesamte Lichtbogenzeit des Schrittes und erhöht die Produktionseffizienz. Insgesamt ist NSR S308F ein hochpräziser Wafer-Stepper, der für die Lithographie in der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist mit fortschrittlicher Optik ausgestattet und behält eine präzise Bildqualität mit ICSS und eingebauter Spiegelausrichtung bei. Darüber hinaus verfügt es über eine High-Speed-Wafer-Bühne und steife Rahmenkonstruktion für erhöhte Produktionseffizienz.