Gebraucht NIKON NSR S308F #9304337 zu verkaufen

NIKON NSR S308F stepper ist eine fortschrittliche Halbleiterlithographie-Ausrüstung, die bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Der Stepper verfügt über eine dreistufige Reduktionsoptik, eine große Feldplatte, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 10 Zoll aufnehmen kann, und enthält ein proprietäres Advanced Scanning System für Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionsmuster. Das Gerät hat eine Abtastfeldgröße von 8x10 Zoll und kann sowohl im positiven als auch im negativen Bildmodus abbilden. NSR- S308F verwendet einen breiten Wellenlängenbereich von 248nm bis 35nm. Der Stepper ist mit einer Vielzahl von Lichtquellen kompatibel, darunter i-line, Kryptonfluorid (KrF) und ArF der zweiten Generation. Die Maschine verfügt auch über eine Reihe fortschrittlicher bildgebender Funktionen, wie ein schwingungsarmes Luftlager für ausgezeichneten Durchsatz und ein Wafertransportwerkzeug, das eine stabile Leistung gewährleistet. Die Anlage ist mit mehreren fortschrittlichen automatisierten Funktionen ausgestattet, die eine einfache und effiziente Handhabung von Substraten ermöglichen. Dazu gehören ein Waferausrichtungsmodell, ein Vakuumfutter mit einer Klemmzone zur schnellen Substratbelastung und eine Abtaststufenverschiebungseinrichtung. Die automatische Retikle Be-/Entladung Funktion ermöglicht schnelle Umschaltung von Mustern und genaue Musterung, bietet überlegenen Durchsatz und hohe Ausbeute. Der leistungsstarke Stepper wurde entwickelt, um eine präzise Overlay-Registrierung und genaue Kantenplatzierung mit seiner 5nm-Registriergenauigkeit zu gewährleisten. Außerdem ist das System mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um stabile Bedingungen zu gewährleisten, einschließlich einer automatischen Fokussteuereinheit, einer EFG-Maschine (Elektronenkraftlinse) und einem erweiterten Heizungssteuerungswerkzeug, das die Temperaturgenauigkeit innerhalb von +/- 0,5 Grad Celsius beibehält. Schließlich soll die Anlage einen umweltfreundlichen Betrieb mit geringem Stromverbrauch und geringen Lärm- und Wärmeemissionen bieten. Zusammenfassend ist NIKON NSR S308F Stepper eine ausgezeichnete Wahl für hohe Ausbeute und Genauigkeit in der Halbleiterlithographie. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten zu handhaben und verfügt über eine Reihe von automatisierten Funktionen für eine effiziente Handhabung. Mit seiner 5-nm-Registriergenauigkeit und seinem umweltfreundlichen Design bringt NSR S308F Stepper Präzision und Qualität in jeden Produktionsprozess.