Gebraucht NIKON NSR S322F #293665735 zu verkaufen

NIKON NSR S322F ist ein Hochleistungs-halbautomatischer Waferstepper, der in der Halbleiterindustrie für Lithographieanwendungen eingesetzt wird. Dies ist ein präzises optisches Bildgebungswerkzeug mit erweiterten Präzisions- und Ausrichtungsfunktionen. NSR S322F verfügt über eine One-Shot-optische Ausrüstung, die es ermöglicht, die Belichtungszeit und das Auftreten von Fehlstellungen über den Wafer zu reduzieren. Es verwendet erweiterte Geometriekorrekturfähigkeiten zum Ausrichten von Mustern über den Wafer, um eine präzise Musterbildung zu gewährleisten. Zur präzisen Ausrichtung und Nivellierung der optischen Einheit ist der Stepper mit einem Vollblendenbildfeldmess- und Einstellsystem ausgestattet. Dies ermöglicht eine schnelle Rückkopplung und Anpassung, um die Genauigkeit der Belichtung über den Wafer zu gewährleisten. Die Bildfeldmessmaschine ermöglicht auch eine dynamische Nivellierung des optischen Werkzeugs des Schrittschalters, um eine konstant genaue Leistung zu gewährleisten. NIKON NSR S322F verfügt zudem über eine robuste und zuverlässige XY-Plattform sowie eine hochpräzise optische Luftlagerung zur Sicherung des Wafers bei Belichtung und Strukturierung. Dies reduziert jede Fehlstellung und führt zu einer hochpräzisen Lithographie. Der Stepper ist auch mit einem ultraschnellen Echtzeit-Fokus-Erkennungsmodell ausgestattet, das Aphase-verschiebenden Algorithmus verwendet, um den Fokus über den Chip schnell zu messen. Dieses Gerät ermöglicht eine schnelle Rückmeldung und Einstellung des Fokus vor der Exposition, um Fehler bei der Fehlausrichtung zu reduzieren. NSR- S322F verfügt auch über ein Multipositions-Ausrichtungssystem, das Koordinaten von Mustern über den Wafer verschieben kann, um eine genaue Ausrichtung über den gesamten Chip zu erreichen. Der Stepper weist außerdem eine zusammengesetzte Abbildungseinheit auf, die bildgebende und photonische Energieübertragung zu Mustern über den Wafer kombiniert. Darüber hinaus unterstützt NIKON NSR S322F eine breite Palette von Waferformaten, ist mit Ersatzteilen ausgestattet und verfügt über eine benutzerfreundliche Bedienmaschine. Dieses Tool ermöglicht eine automatisierte Anpassung und Optimierung von Prozessparametern, um Ausfallraten zu reduzieren, Erträge zu maximieren und den Durchsatz zu verbessern. Abschließend ist NSR S322F ein hochpräziser, halbautomatischer Wafer-Stepper, der konsistente und genaue Lithographieleistung bietet. Es ist mit fortschrittlicher Bildgebungstechnologie und einer Reihe von Funktionen ausgestattet, um eine präzise Ausrichtung, dynamische Fokussierung und niedrige Fehlerquoten zu gewährleisten. Der Stepper hat auch eine einfach zu bedienende Schnittstelle und ist mit einer Vielzahl von Waferformaten kompatibel.