Gebraucht NIKON NSR S322F #293671643 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S322F
ID: 293671643
Scanner Resolution: ≦ 65 nm Exposure light source: ArF Excimer laser (193 nm Wavelength) Reduction ratio: 1:4 Maximum exposure field: 26 mm x 33 mm Overlay: Single Machine Overlay (SMO): ≦2 nm Mix and Match Overlay (MMO): ≦5 nm Throughput: ≧ 230 Wafers / Hour (96 Shots).
NIKON NSR S322F ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation, der eine hochauflösende Bildgebung im Wafer-Maßstab ermöglicht. Der Stepper ist für Wafer mit 48 Zoll Durchmesser ausgelegt, die der Industriestandard für die Serienproduktion sind. NSR S322F verfügt über erweiterte Optik- und Bildgebungsfunktionen und bietet eine Auflösung auf Nanometerebene, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Das Gerät ist auch in der Lage, Wafer auf verschiedene Höhen für einfachen Zugang und Ausrichtung zu indexieren. NIKON NSR S322F ist mit einer erweiterten CCD-Array-Kamera ausgestattet, die Echtzeit-Feedback und digitale Steuerung bietet, so dass der Benutzer den Stepper schnell und einfach für jede Anwendung konfigurieren kann. Darüber hinaus verfügt das System über eine konfigurierbare Bildverarbeitungseinheit, die es dem Anwender ermöglicht, die Bildqualität sowohl im Scan- als auch im Abbildungsmodus zu optimieren. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern auch, Bildgebungsparameter wie Belichtungszeit, Objektivblende und Fokus anzupassen. Als Auswuchs der CCD-Array-Kamera verfügt NSR S322F über eine Autofokus-Maschine, die unabhängig von Höhe und Belichtungszeit des gescannten Wafers eine konstante Bildqualität gewährleistet. NIKON NSR S322F verfügt auch über ein Field Imaging-Tool, mit dem Benutzer große Teile in einem einzigen Zyklus scannen können. Die Mehrfachbelichtungsfähigkeit des Assets ermöglicht es Benutzern, verschiedene Teile des Wafers bei unterschiedlichen Belichtungen zu scannen, was zu Bildern höherer Auflösung führt. Durch die Nutzung dieser Funktion sind Ingenieure in der Lage, Wafer, die mehrere Komponenten enthalten, schnell zu verarbeiten. NSR S322F verfügt auch über einen Lichtintensitätsregler, um konsistente Lichtverhältnisse zu gewährleisten. Dies gewährleistet die Genauigkeit in der Bildgebung unabhängig von der Tageszeit. Darüber hinaus ist der Stepper mit einer Vielzahl von Bildverarbeitungs- und Software-Tools wie Bildsynchronisation und Bildmaskierung kompatibel. Diese Werkzeuge wurden entwickelt, um die Produktivität und Effizienz von Waferbearbeitungsanwendungen zu verbessern. Insgesamt ist NIKON NSR S322F ein hochmoderner Wafer-Stepper, der eine ideale Plattform für industrielle Bildgebung bietet. Die erweiterten bildgebenden Funktionen, das Feldbildmodell, die CCD-Array-Kamera, die Autofokus-Ausrüstung und der Lichtintensitätsregler bieten beispiellose Genauigkeit und bildgebende Qualität in einem kompakten, erschwinglichen Paket.
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