Gebraucht NIKON NSR S322F #293817907 zu verkaufen

NIKON NSR S322F ist ein Wafer-Stepper der nächsten Generation, der mit NIKON proprietärer Bildgebungstechnologie arbeitet. Das Gerät soll eine präzise Kontrolle der Belichtung jeder Schicht eines mit Photolithographie aufgebrachten Wafers ermöglichen. Diese Technologie ist weit verbreitet in der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Kommunikation, Automobil und andere Unterhaltungselektronik. NSR S322F bei Funktionen wie Prozessgenauigkeit, Präzisionsbetrieb und reduzierter Umweltbelastung große Fortschritte erzielt, um den Geräteherstellern ultimative Leistung zu bieten. Das System nutzt die neuesten In-Objektiv-Automatisierungs- und Bildgebungstechnologien, wie hochauflösende Vollbild-Bildgebung, um eine überlegene Bildtreue für die minimale Linienbreite und Abstandsgenauigkeit zu gewährleisten. Der Stepper bietet auch eine breite Palette von Belichtungsparametern, die es Anwendern ermöglichen, die Einheit für ihre spezifischen Prozesse anzupassen. Die Self Scanning und Thermal Control Machine tragen dazu bei, dass die Bewegung der Ausrichtungsstufe und des Scanspiegels hochgenau und zuverlässig ist. NIKON NSR S322F ist für ICs mit kritischen Abmessungen (CDs) im Bereich von 0,3 bis 1,0 µm mit einer maximalen Belichtungsfeldgröße von 22 mm konzipiert. Es ist in der Lage, Ziele so klein wie 1 µm in der Größe mit hoher Genauigkeit Messtechnik Fähigkeit von 0.025µm für innere/äußere Scan Wiederholbarkeit zu handhaben. Außerdem bietet das Tool einen hohen Durchsatz, der extrem schnelle Turnarounds ermöglicht und bis zu 25 Wafer pro Stunde handhaben kann. Darüber hinaus ermöglicht die kompakte Bauweise eine einfache Integration in bestehende Systeme und Arbeitsbereiche. NSR S322F ist mit überlegenem Umweltschutz gebaut. Seine robuste Konstruktion schützt ihn vor Partikeln, die aus seiner Umgebung stammen können, während seine luftdichte Innenausstattung die Sauberkeit während des gesamten Betriebs aufrechterhält. Die Anlage umfasst ein Überwachungsmodell, das den chemischen Gehalt innerhalb der Prozesskammer verfolgt und den Wartungsaufwand und die Kosten reduziert. Die Ausrüstung sorgt auch für eine reduzierte Sauerstoffumgebung, um eine überlegene Substrathaftung zu gewährleisten. Schließlich kommt NIKON NSR S322F mit einem zuverlässigen Detektionssystem ausgestattet, das jede Anomalie im Prozess erkennen kann. Dieses Gerät unterstützt das Gerät bei der Aufrechterhaltung seiner Leistung mit minimalem manuellen Eingriff. Darüber hinaus kann die Maschine Verunreinigungen und Defekte durch frühzeitiges Erkennen unerwünschter Ereignisse verhindern. Als solches hilft das Werkzeug, einen hohen Durchsatz und eine kürzere Gesamtzykluszeit zu gewährleisten.