Gebraucht NIKON NSR S609B #9223197 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S609B
ID: 9223197
Wafergröße: 12"
Wafer stepper, 12".
NIKON NSR S609B ist eine Präzisionsmusteranerkennungsaussetzungsausrüstung „Mikroschritttyp, der“ für fortgeschrittene Steindruckverfahrenanwendungen entworfen ist. Als Immersionsbildsystem mit einer Nahfeldlichtquelle verfügt NSR S609B über eine breite Palette fortschrittlicher Funktionen und eignet sich somit für fortgeschrittene Anwendungen in den Bereichen integrierte Schaltungen, Flachbildschirme und andere Spitzentechnologien. NIKON NSR S609B bietet eine fortschrittliche räumliche Ausrichteinheit, die globale oder lokale Ausrichtungsfehler schnell und präzise erkennen kann. Die Maschine ist optimiert, um eine genaue Bildregistrierung durchzuführen und sich entsprechend den rückseitigen oder vorderseitigen Torausrichtungsmarkierungen auf der Resistschicht zu orientieren. Das Werkzeug verwendet auch eine proprietäre optische Sensortechnik zur Erkennung mehrerer Schrittausrichtungsmarken für eine präzisere Musterselektivität. NSR S609B zeigt eine äußerst schnelle Aussetzungsgeschwindigkeit, es ideal für Hochleistungssteindruckverfahrenanwendungen machend. Das Asset ist in der Lage, bis zu 4 Risikopositionen pro Sekunde zu liefern, um die anspruchsvollsten Durchsatzanforderungen für integrierte Schaltungen und Flachbildschirme zu erfüllen. Das Modell bietet zudem eine hohe Fokustiefe und einfache Integration mit anderen Systemen für fortschrittliche bildgebende Lösungen. Die fortschrittliche bildgebende Ausrüstung ist in der Lage, Schichten über längere Feldtiefen und mit minimaler Fokussierung von Probe zu Probe genau zu fokussieren und auszurichten. NIKON NSR S609B ist mit einem 6-Zoll-Mikroskop-Port für eine einfache Integration in bestehende Laboraufbauten ausgestattet. NSR- S609B ist auch in der Lage, beispiellose Auflösung und Muster Funktion Größe Kontrolle zu erreichen. Damit ist es ein ideales System für die anspruchsvollen Anforderungen lithographischer Anwendungen im Bereich integrierter Schaltungen und Anzeigesubstrate. Das Gerät hat die Fähigkeit, bis zu 0,6 µm Merkmalsgröße zu produzieren, und kann eine minimale Merkmalsgröße von 25 nm und eine minimale Liniensteigung von 50 nm verarbeiten. NIKON NSR S609B ist mit hochpräziser mechanischer Registrierung und fortschrittlicher numerischer Steuerungstechnologie (NC) konzipiert. Dies trägt zu einer hochpräzisen und wiederholbaren Musterplatzierung und Überlagerungsgenauigkeit bei. Die Maschine macht stabile und wiederholbare Bildgebungsleistung von Mustern unabhängig von der Form oder Größe aufgrund seiner niedrigen Hauptachsenebene und hochauflösende Schrittmotor Impulssteuerung. NSR S609B ist auf optimale Benutzerfreundlichkeit und Bedienkomfort ausgelegt. Das Tool ist vollständig mit STEP-NC-Programmierung und Fernbedienung kompatibel, sodass es in eine Vielzahl von Fertigungsumgebungen integriert werden kann. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer 24-V-Lichtquelle ausgestattet, die die Verwendung als maschinelles Gerät ermöglicht, und verfügt über eine digitale Benutzeroberfläche, um die Nutzung von Geräten zu vereinfachen und die Interaktionszeit der Maschine zu reduzieren. Zusammenfassend ist NIKON NSR S609B ein fortschrittliches Wafer-Stepper-Modell, das für Hochleistungs-Imaging und sich schnell entwickelnde Technologieanwendungen entwickelt wurde. Seine Kombination aus Geschwindigkeit, Genauigkeit und Benutzerfreundlichkeit stellt sicher, dass es in der Lage ist, die anspruchsvollsten Lithographie-Anforderungen zu erfüllen.
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