Gebraucht NIKON NSR S610C #293633334 zu verkaufen

NIKON NSR S610C ist ein Wafer-Stepper für Lithographieanwendungen, die eine genaue und präzise Belichtung von Merkmalen bis zu 100 Nanometern oder darunter erfordern. Es ist eine 6-Achsen-Ausrüstung, die eine hochvergrößerte, mehrschichtige Linsen, Laser-Interferometer-Autofokus und ein einzigartiges Quad Air Bearing-System verwendet, um eine hochgenaue und wiederholbare Produktion von hochwertigen Halbleiterchips zu gewährleisten. NSR S610C verwendet Hochleistungsbeleuchtung und ultraschnelle Bildaufnahmefähigkeit, um wiederholbare und genaue Ausgänge über eine Vielzahl von Belichtungszeiten bereitzustellen. Das Gerät bietet zudem eine überlegene Bildabtastung durch den Fokus, um die Bildgenauigkeit zu maximieren und Stigmentierungsfehler zu minimieren. Es ist auch mit einer vollständigen Ergänzung von Mustererkennungs- und Fehlererkennungsfunktionen ausgestattet. NIKON NSR S610C ist in der Lage, Belichtungsgeschwindigkeiten von 1 bis 90 Pikosekunden, das entspricht 10.000 Expositionen pro Sekunde. Es ist in der Lage, verschiedene Arten von Resists von solchen mit hochbrechenden Oberflächen denen mit hochreflektierenden Grenzflächen auszusetzen. Die Maschine unterstützt auch fortschrittliche Messtechnik-Werkzeuge, wie fortschrittliche Streuung, für hochpräzise Muster-Treue-Prüfung und Prozesskontrolle. NSR S610C ist mit einer Reihe von Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen ausgestattet, einschließlich Echtzeit-Luftbildinspektion, direkte Wafer-Überprüfung, Unschärfemessungen und Kantenerkennung. Das Tool verfügt zudem über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die Benutzern eine vertraute und benutzerfreundliche Plattform zur Steuerung ihrer Prozesse bietet. NIKON NSR S610C bietet erweiterte Anpassungsmöglichkeiten, einschließlich verschiedener operativer Masken und Voreinstellungen, sowie optionale Echtzeit-Prozessanalyse und -überwachung. Das Asset kann mit einer Vielzahl von austauschbaren Optiken wie Weitwinkellinsen und Fluidlinsen-Abtastsystemen sowie einer Kombination von Spezialobjektiven konfiguriert werden. Es verfügt auch über integrierte Fernbedienungsfunktionen wie Fernfokussierung und Belichtungseinstellung sowie Fernüberwachung und Einstellung von Belichtungsparametern. NSR S610C ist ein idealer Wafer-Stepper für Lithographieanwendungen, die eine stark wiederholbare und genaue Belichtung von Merkmalen bis zu 100 Nanometern oder kleiner erfordern. Seine zuverlässige Leistung, erweiterte Anpassungsfunktionen und intuitive grafische Benutzeroberfläche machen es zu einem wertvollen Kapital für jedes Lithographielabor oder jede Produktionslinie.