Gebraucht NIKON NSR S610C #293817905 zu verkaufen
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ID: 293817905
ArF Immersion scanner
Numerical Aperture (NA): 1.3
Resolution: 50 nm
Throughput (WPH): 130.
NIKON NSR S610C ist ein leistungsstarker, vollautomatischer Wafer-Stepper der Spitzenklasse. Mit proprietären Verfahren erreicht es eine äußerst genaue Herstellung von Feinmustern hoher Dichte bis zu einem Grad, der von herkömmlichen Photolithographiesystemen unübertroffen ist. NSR S610C ist mit der weltweit leistungsstärksten Bildübertragungsausrüstung ausgestattet und verfügt über 3-D-Mehrschicht-Mehrwert-Belichtung, die eine hochgenaue Produktion selbst kompliziertester Muster ermöglicht. Die kurze Wafer-Transportzeit verkürzt nicht nur die Produktionszeit, sondern ermöglicht auch die Erstellung hochintegrierter Komponenten innerhalb eines Zyklus. Das System unterstützt auch Substrate verschiedener Größen und Materialien und ist damit eine ideale Plattform für die Produktion mit hoher Dichte und hoher Genauigkeit. NIKON NSR S610C bietet hervorragende bildgebende Funktionen, einschließlich der Fähigkeit, glatte, zackenfreie Muster sowie einheitliche Belichtungsverteilungen zu produzieren. Darüber hinaus ermöglicht die ausgeklügelte Wafer-Ausrichteinheit eine präzise Ausrichtung des Substrats, reduziert das Fehlausrichtungspotenzial und sorgt für eine hervorragende Einhaltung des gewünschten Musterdesigns. Ein ausgezeichneter Nivellierer, integriert in NSR S610C ist in der Lage, auch die kleinsten Defekte auf der Oberfläche des Wafers zu erkennen, wie kontaminierte Bereiche oder Schäden äußerer Partikel verursacht haben können. Dies ermöglicht eine verbesserte Produktionsgenauigkeit und hilft, jede unerwünschte Farbsättigung oder Linien durch Fremdmaterialien zu verhindern. NIKON NSR S610C bietet ein hervorragendes Maß an optischer Leistung, um die Bedürfnisse selbst der anspruchsvollsten Projekte zu erfüllen. Erstklassige, anpassbare bildgebende Subsysteme sind für höchste Präzision und Flexibilität ausgestattet, während vollautomatische Lastports zum schnellen und einfachen Transfer von Wafern in die Maschine für die Produktion verwendet werden können. Schließlich verfügt NSR S610C über intuitive, einfach zu bedienende Steuerungs- und Überwachungssysteme. Die dedizierte Software bietet ein hohes Maß an Flexibilität und Kontrolle bei der Konfiguration des Steppers und der Überwachung seiner Fortschritte, so dass es eine perfekte Wahl für die Produktion, wo Genauigkeit und Geschwindigkeit sind von größter Bedeutung.
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