Gebraucht NIKON NSR S620D #293817903 zu verkaufen

NIKON NSR S620D ist ein hochauflösender, hochpräziser Wafer-Stepper, der von NIKON entworfen und hergestellt wird. Das Schritt-verwertet eine Vorsprungsaussetzungstechnik des gegangenen Scans, in der ein zusammenhängender leichter Balken durch eine Reihe von Linsen passiert wird, bis er die Maske erreicht. Die Maske wird dann schrittweise bewegt und die Belichtung auf der Waferoberfläche vorgenommen. Dieser Stepper ist in der Lage, feine Pitch-Designs von bis zu 0,0085 μ m, die fortschrittlichste Technologie in der Wafer-Stepper-Industrie. Es verwendet das fortschrittliche NIKON Super-High-Resolution-Objektiv, um Aberration zu minimieren und die Gleichmäßigkeit zu maximieren, wodurch bis zu 4X-Reduktionsfähigkeit und eine einheitliche Feldgröße von bis zu 270mm möglich sind. NIKON NSR-S620D zeigt auch ein Hochleistungsscanaussetzungsgebiet mit der Hochleistungsscanelektronik. Die Scangeschwindigkeit beträgt max. 12 '000 mm/s, mit Ausnahme des Mittelteils (hochauflösender Bereich), das eine konstante Geschwindigkeit von 8' 000 mm/s aufrechterhalten kann. Diese Funktion ermöglicht es dem Benutzer, die Zykluszeiten im Vergleich zu herkömmlichen Systemen deutlich zu reduzieren. NSR S620D umfasst eine hocheffiziente Wafer-Ausrichtausrüstung, die bis zu 0,5 μ m auf 3-Achsen mit einer Verschiebungsauflösung von 0,25 μ m messen kann. Das Autofokus (AF) -System sorgt für kontinuierliche Fokussierung durch Kompensation von Wafer-Topographie-Schwankungen. Das Wafer-Futter an diesem Stepper ist ein wichtiger Bestandteil der Einheit. Es ist reinigbar und bietet einen hohen Vakuumgehalt von -81 kPa mit einer Stabilität von +/- 0,05 kPa. Das Spannfutter weist außerdem einen gleichmäßigen Spannfutterdruck von 0,3-0,7 MPa auf. NSR-S620D verfügt auch über eine breite Palette von Exposition, Dosis und Belichtungszeit Parameter. Dadurch kann der Benutzer die am besten geeignete Einstellung für seine belichteten Objekte auswählen und gleichzeitig eine hohe Kontrolle und Präzision während des Betriebs des Schrittschalters gewährleisten. Darüber hinaus ist NIKON NSR S620D mit fortschrittlichen Strahlmanagementfunktionen ausgestattet, um die Belichtungsgleichförmigkeit zu verbessern. Es verfügt über eine Autofokusmaschine mit Z-Shift-Regler, die es dem Benutzer ermöglicht, die Z-Richtung sofort um einige Mikrometer zu verschieben, um Waferoberflächenunregelmäßigkeiten auszugleichen. Darüber hinaus nutzt sie einen aktiven Abberationscontroller, um die Bildqualität des Projektionsbelichtungswerkzeugs des Steppers zu verbessern. NIKON NSR-S620D ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper mit hoher Genauigkeit, der den anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterhersteller gerecht wird. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, die es Anwendern ermöglichen, Feinabmessungen schneller und präziser zu erzeugen.