Gebraucht NIKON NSR S620D #9198048 zu verkaufen

NIKON NSR S620D
Hersteller
NIKON
Modell
NSR S620D
ID: 9198048
Wafergröße: 12"
ArF Immersion scanner, 12".
NIKON Wafer Stepper der NSR S620D Serie ist eine hochmoderne optische Lithographie-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet ein hochgenaues, hochpräzises, laserbasiertes Projektionsoptiksystem sowie fortschrittliche Hardwaretechnologien. Dieser Wafer-Stepper gewährleistet eine präzise und zuverlässige Lithographie zur Herstellung neuer Generationen von High-End-Halbleiterbauelementen. Die Besonderheiten von NIKON NSR-S620D sind die High-End-Optik und die erweiterte grafische Benutzeroberfläche (GUI). Die Optikmaschine besteht aus zwei kontrastierenden optischen Teilsystemen: Nieder- und Hochspannungsprojektionssystemen. Das Niederspannungsprojektionswerkzeug bietet eine gute Abtastleistung, während die Hochspannung für tiefe Photolackprozesse geeignet ist. Zusätzlich ist eine optische Projektionslinse auf einem Autofokus-Schienenelement zur präzisen Ausrichtung und Bildgebung montiert. Die GUI bietet eine intuitive und bequeme Plattform für Benutzer, um verschiedene Parameter einzustellen und Anpassungen einfach vorzunehmen. Der Wafer-Stepper ist auch mit 2-Mikrometer-Ausrichtungsgenauigkeit ausgestattet. Es verfügt über integrierte automatisierte Ausrichtungsfunktionen wie Feinausrichtung, OAI-Bildgebung (Off-Axis Inspection) und fiducial mark matching. Darüber hinaus können Benutzer die Einstellungen der NSR S620D Serie an ihre eigenen Anforderungen anpassen. Das maximale Scanfeld beträgt 25 mm x 24 mm, mit einer maximalen Auflösung bis 16 nm und maximaler Größe bis 2 ". Dies ermöglicht die Herstellung von hochdichten Mustern auf kleinen Merkmalen fortgeschrittener IC-Geräte. Darüber hinaus ist der Wafer-Stepper voll kompatibel mit Hochleistungs-Beschichtungssystemen und Spinnern, die komplizierte Schichtschaltungen ermöglichen. NSR-S620D verfügt über mehrere andere Funktionen, die es ideal für die High-End-IC-Produktion machen. Seine geringe elektromagnetische Störung (EMI) macht es für empfindliche Geräte geeignet. Es verwendet auch hochpräzise Motoren und Optik, um eine genaue Positionierung und Bildgebung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist der Wafer-Stepper mit langlebigen Bauteilen konstruiert, die ihm eine dauerhafte Nutzung ermöglichen. Alles in allem ist NIKON NSR S620D ein Wafer-Stepper mit überlegener Bildgebungsgenauigkeit und -fähigkeit. Dank der hochpräzisen Optik, der automatisierten Ausrichtfunktionen und der weiten Sicht eignet es sich für die Herstellung von hochmodernen Halbleiterbauelementen auf höchstem Qualitätsniveau. Sein überlegenes Design und seine robuste Konstruktion geben ihm die Haltbarkeit und Zuverlässigkeit, die erforderlich sind, um den langfristigen Einsatz in jedem Labor oder Produktionsumfeld zu gewährleisten.
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