Gebraucht NIKON NSR S620D #9401370 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR S620D
ID: 9401370
Controller NS2601/B Printed circuit board NIKON P/N: 4S025-412-1.
NIKON NSR S620D ist ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der von NIKON entwickelt wurde, um Halbleiterherstellungsprozessen überlegene Genauigkeit und Präzision zu bieten. NIKON NSR-S620D setzt fortschrittliche Scantechnologie und -optik ein, um Leistung und Flexibilität zu erreichen, die für die High-End-Mikrochip-Bildgebung und -Ätzung unerlässlich sind. NSR S620D wurde mit einer vollautomatischen Ausrüstung mit Sechs-Achsen-Stufe und Neigungsverarbeitungsfähigkeit entwickelt. Dieses System bietet maximale Flexibilität für die Verarbeitung einer Vielzahl von Wafergrößen und kann mehrere Wafer-Montagekonfigurationen verarbeiten. NSR-S620D wurde entwickelt, um eine breite Palette von Belichtungsanwendungen von optischer Lithographie, Photomaskenbelichtung, Ätzen und transienter Plasmabelastung zu unterstützen. NIKON NSR S620D verfügt über eine robuste Positioniereinheit mit einer maximalen Schrittgenauigkeit von 2,5 μ m. Die 6-Achsen-Stufe und Neigungsfähigkeit von NIKON NSR-S620D ermöglichen eine präzise Positionierung des Wafers und sorgen für einheitliche Belichtungswerte. Um höchste Leistungsstandards zu erhalten, ist NSR S620D mit einer dreidimensionalen automatischen Ausrichtung von Objektiv und Wafer während jedes Belichtungsprozesses ausgestattet. Diese optische Positioniermaschine erreicht durch den Einsatz einer Reihe von Kameras und eines Referenzspiegels eine hohe Genauigkeit. Es verwendet auch NIKON fortschrittliche Laserausrichtungstechnologie, um eine hohe Positionsgenauigkeit zu gewährleisten. Das hochpräzise optische Bildgebungswerkzeug von NSR-S620D ist in der Lage, bis zu 0,5 μ m Auflösung über das gesamte Sichtfeld zu liefern. Diese überlegene Leistung wird durch die Integration von NIKON proprietärer Bildgebungsoptik und leistungsstarken Beleuchtungsquellen erreicht. NIKON NSR S620D ist auch mit einer gestreckten Laserleistungsanpassung ausgestattet, um ein optimales einheitliches Bild über eine ganze Reihe von Belichtungsparametern zu gewährleisten. Neben überlegenen Vorstellungsmerkmalen ist NIKON NSR-S620D auf maximale Effizienz und Durchsatz ausgelegt. Das Gerät kann bis zu 12 Wafer pro Stunde in einer Vielzahl von Größen und Funktionen unterstützen. Darüber hinaus ist NSR S620D mit einem eingebauten Trockensauger und einem Stickstoffspülmodell ausgestattet, um eine saubere, staubfreie Umgebung zu gewährleisten. Insgesamt ist NSR-S620D ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der überlegene Genauigkeit und Präzision in High-End-Mikrochip-Bildgebungs- und Ätzprozessen bietet. NIKON NSR S620D bietet einen äußerst zuverlässigen und effizienten Produktionsprozess und ist eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller, die ihren Durchsatz verbessern und hervorragende Ergebnisse erzielen möchten.
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