Gebraucht NIKON NSR SF110 #293821683 zu verkaufen

NIKON NSR SF110 ist eine fortschrittliche Wafer-Stepper-Ausrüstung für die Produktion von hochvolumigen Halbleitern. Das System wird von einem 47-nm-Scanner mit einem Diodenlaserbeleuchter angetrieben und ist in der Lage, Wafer bis zu einem Durchmesser von 200 mm zu produzieren. Die Oblatengröße wird durch die hohe Präzision der Einheit, niedrige Geschwindigkeitspositionierungstechnologie angepasst, das Produkt der höchsten Qualität berücksichtigend. NSR SF110 ist mit einer automatischen Overlay-Ausrichtmaschine mit einer Genauigkeit von 1 µm oder besser ausgestattet und bietet gleichzeitig eine ultrahohe Auflösung von 0,1 µm. Höheres Oblatenladenwerkzeug und ein Hochgeschwindigkeitsoblatenrotationsmechanismus werden auch eingeschlossen, um Durchfluss zu verbessern. Darüber hinaus verfügt das Asset über einen Wafer Stage Position Watcher und einen Process Intensity Monitor zur Echtzeit-Überwachung der Waferstufe und der Prozessbedingungen. NIKON NSR SF110 verfügt über fortschrittliche Prozesssteuerungen wie WiRED (Wireless Replacement Electronic Device) eine Kommunikationsschnittstelle zur Prozessautomatisierung und Analyse von Rezeptdaten. Es enthält auch einen vielseitigen integrierten Scanner-Prozessor und Controller (SPC) sowie einen leistungsstarken Die Aligner (DA), der die Sichtbarkeit und Analyse des gemusterten Wafers ermöglicht. Das SPC bietet hochauflösende digitale Verarbeitungs-, Bildmanagement- und Datenspeicherfunktionen für die Verarbeitung und Analyse von Wafern. Der Algorithmus zur Mustersuche und -erkennung (PSR) dient zur schnellen Analyse und Erkennung von Mustern auf dem Wafer. NSR SF110 ist auch mit einem Electronic Reticle Alignment Model (ERS) ausgestattet, das verwendet wird, um Retikel zu messen und auszurichten, bevor sie im Belichtungswerkzeug verwendet werden. Dieses Gerät ist in der Lage, eine Ausrichtungsgenauigkeit von weniger als 0,5 µm. Zu dieser Einheit gehört auch ein einzigartiges Inspektionssystem, das Fehler an einem Wafer erkennen kann und den Belichtungsablauf automatisch stoppen kann, wenn einer der festgestellten Fehler die angegebenen Grenzwerte überschreitet. NIKON NSR SF110 verfügt über verschiedene Sicherheitsmerkmale wie Sicherheitsverriegelungen für die Laserstrahlung, eine Poison Prevention Cover für den optischen Weg und Sicherheitsaufkleber Warnungen für potenzielle Gefahrenbereiche. Eine Alarmmaschine ist ebenfalls in der Maschine installiert, um die Bedienungsperson bei eventuellen Problemen zu benachrichtigen. NSR SF110 ist ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterindustrie mit hoher Präzision und strenger Qualitätskontrolle des belichteten Wafers.