Gebraucht NIKON NSR SF120 #293589139 zu verkaufen

NIKON NSR SF120 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der im Mikrolithographieverfahren eingesetzt wird. Es ist eine fortschrittliche Ausrüstung zur Herstellung hochwertiger Mikrostrukturen auf Silizium und anderen Halbleitersubstraten. Diese Maschine verwendet erweiterte Optik und hat ein breites optisches Feld. Es hat ein 35mm Sichtfeld, das das größte seiner Klasse ist. Die Lichtquelle ist ein 200mm Laser und dieses Produkt von NIKON hat eine Beschichtung an den Rändern der optischen Elemente, um Reflexionen und Flare zu reduzieren. Die Mikroskoplinse ist auch beschichtet, um ein klares Bild der Probe zu liefern. NIKON NSR-SF120 ist mit einer 6-Achs-Motorstufe ausgestattet, die eine präzise Positionierung über dem Substrat mit einer Auflösung von 0,25 μ m ermöglicht. Der Stepper verfügt über ein Fünf-Achsen-Luftstrom-System zur Minimierung von Umgebungsvibrationen, wodurch eine Submikron-Fokustoleranz erreicht wird. NSR SF 120 ist für eine Vielzahl von Substraten ausgelegt und kann Substrate bis zu einem Durchmesser von 450mm bearbeiten. Sein Wafer-Handler ist in der Lage, eine sichere Vakuumhaltung des Substrats zu gewährleisten und ermöglicht eine genaue Hochgeschwindigkeits-Wafer-Handhabung. Die umfassende Automatisierung sorgt für zuverlässige und effiziente Leistung. Es verfügt über integrierte programmierbare Motorsteuerungen und eine benutzerfreundliche Schnittstelle, mit der Schritte und Rezepte für verschiedene Anwendungen eingegeben und verwaltet werden können. Es verfügt auch über eine Suite von mobilen und stationären Roboterkomponenten zur vollständigen Steuerung des Steppers. NSR SF120 verfügt auch über eine Autofokus-Kalibrier- und Ausrichtungsmaschine. Dieses Tool verwendet einen erweiterten Linienfokussierungsalgorithmus, um den Kantenfokus mehrerer Linien auf der Substratoberfläche zu messen und diese Informationen dann zu verwenden, um bei Bedarf Korrekturen vorzunehmen. NIKON NSR SF 120 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Wafer-Stepper für eine breite Palette von Mikrolithographie-Anwendungen. Es ist ergonomisch konzipiert und gut für die Produktion in Großserien geeignet.