Gebraucht NIKON NSR SF120 #293618791 zu verkaufen
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ID: 293618791
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
i-Line stepper, 12"
SMIF
No FOUP
SEMES KSPIN12 Track system
HP / HEWLETT-PACKARD DS10 Workstation
Module:
PM1: Light source
PM2: Alignment
PM3: Stage
Utility:
SR10MP 4IL2 Lens (NA: 0.50 ~ 0.62)
OSRAM HBO 5004 W/NIL Lamp for laser
Missing parts:
RL Buffer robot and controller
Morocco board
Piezo drive unit
FW Robot
(2) Blind Y
(2) Blind X
WL Box
DMCC UIP NSR Server workstation
Operating system: Windows
Hard Disk Drive (HDD) has been removed
2014 vintage.
NIKON NSR SF120 ist ein Wafer-Stepper, der in der Halbleiterherstellung und Chipherstellung verwendet wird. Es ist ein Ausrichtungsstepper, der bis zu 200mm Wafer pro Stunde verarbeitet. Es kombiniert NIKON hochgelobte Zwei-Achsen-Genauigkeit und überlegene Bildgebungsleistung mit fortschrittlichen Ausrichtungsalgorithmen für verbesserte Overlay-Genauigkeit. Dieser Halbleiterstepper wurde mit fortschrittlichen Komponenten entwickelt, um den Anforderungen der anspruchsvollsten Wafer-Herstellungsumgebungen von heute gerecht zu werden. Es ist in der Lage, Maske-zu-Maske-Ausrichtung und verfügt über eine integrierte Ausrichtungsfunktion für Einpositions-Neuausrichtung. Es bietet einen hohen Durchsatz bei geringen Linearitätsfehlern und Überlagerungsfehlern und bietet so Produktionsstabilität. NIKON NSR-SF120 verwendet ein bildgebendes Gerät mit einem 3-Chip-Arrayed-Bilderfassungssystem, das aseismatisch in einer zuverlässigen und stabilen Kammer montiert ist. Diese bildgebende Einheit verfügt über eine hohe NA-Beleuchtungsmaschine mit einem einzigartigen optischen Design von NIKON und ist in der Lage, qualitativ hochwertige Abbildungen von Funktionen ohne Maskenverzerrung zu erfassen. Es verwendet auch proprietäre Software, um Teile innerhalb der Kammer effizient und genau zu identifizieren und auszurichten. Das überlegene Design von NSR SF 120 ermöglicht den Einsatz in Photolithographieverfahren, wie z.B. Photolackmusterung und hochgenaue Overlay-Ausrichtung. Es ist auch in der Lage zur optischen Musterprüfung, Gate- und Kontaktloch-Musterabgrenzung, Streuung und Maskenausrichtung aufgrund seiner Hochgeschwindigkeits- und Hochgenauigkeitsmerkmale. NIKON NSR SF 120 ist ein robuster und zuverlässiger Wafer-Stepper, ideal für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen. Es ist in der Lage, Lasten von bis zu 4 Zoll für 200mm oder 300mm Wafer zu verarbeiten, so dass es für die Verarbeitung der schwierigsten Produktionsherausforderungen geeignet ist. Darüber hinaus bietet es eine fortschrittliche Prozesskontrolle und bietet hervorragende Spot-to-Spot-Stabilität und Produktivität. Im Hinblick auf die Sicherheit verfügt NSR SF120 über eine sichere und stabile Betriebsumgebung und eine breite Palette von Sicherheitsmerkmalen. Es ist mit einem Multi-Rückhaltetaktwerkzeug und einem zuverlässigen Strahlanschlagschutz ausgestattet, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgt das erweiterte Standby-Asset für eine geringe Verlustleistung im Leerlaufmodus. Insgesamt ist NSR-SF120 ein zuverlässiger und leistungsstarker Halbleiterschrittmacher, der für die anspruchsvollsten Fertigungsvorgänge entwickelt wurde. Sein Drei-Chip-Array-Bildgebungsmodell und erweiterte Ausrichtungsalgorithmen führen zu hohem Durchsatz und außergewöhnlicher Overlay-Genauigkeit. Es bietet auch eine breite Palette von Sicherheits- und Prozesskontrollfunktionen, so dass es eine geeignete Wahl für kleine und große Chiphersteller.
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