Gebraucht NIKON NSR SF120 #293757652 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR SF120
ID: 293757652
Weinlese: 2003
i-Line stepper 2003 vintage.
NIKON NSR SF120 ist ein Wafer-Stepper für fortschrittliche Halbleiterlithographieverfahren. Dieser leistungsstarke Stepper bietet einen erweiterten Gerätebereich, eine schnelle Scangeschwindigkeit und eine überlegene Optik, um den Durchsatz und die Ausbeute zu erhöhen. NIKON NSR-SF120 ist mit einem fortschrittlichen, voll integrierten Systembereich ausgestattet, der für eine flächeneffiziente Produktion konzipiert ist. Dieser Unit Area wurde entwickelt, um den Durchsatz mit hoher Genauigkeit und hoher Maschineneffizienz zu maximieren, was zu reduzierten Zykluszeiten führt. Darüber hinaus verfügt das Tool über modernste messtechnische Fähigkeiten zur optimalen Prozesssteuerung und -optimierung. NSR SF 120 ist mit fortschrittlicher Optik ausgestattet, um eine verbesserte Gleichmäßigkeit und Genauigkeit des Wafers zu gewährleisten. Die Optik enthält 10X Vergrößerung, einen 109mm Bildkreis und eine Beleuchtungsfeldhöhe mit einer Regelmäßigkeit von weniger als 1%. Die Optik verfügt außerdem über eine kleinere Wellenlänge von 193nm und eine numerische Apertur (NA) von 0,63, die eine ultrahochauflösende Abbildung ermöglicht. NSR SF120 verfügt über eine Scan-Geschwindigkeit von bis zu 80mm/sec, so dass eine schnelle Bildgebung ohne Einbußen bei der Präzision. Diese Hochgeschwindigkeits-Bildgebung hilft bei der Erzielung eines hohen Durchsatzes und verbesserter Produktivität. Darüber hinaus unterstützt dieses Asset mehrere Auflösungsmodi im Bereich von 0.5um bis 10.9um. Um die Produktivität weiter zu verbessern, bietet NSR-SF120 auch ein Wafer-Ausrichtungsmodell an, mit dem Fehlstellungen ohne manuelle Eingriffe automatisch korrigiert werden können. Darüber hinaus ist NIKON NSR SF 120 mit felderprobten Inspektions- und Reparaturfähigkeiten, wie einer E-Beam Defect Inspection Equipment und einem Vacuum Scanning Electron Microscope (SEM), ausgelegt. Diese Systeme sind so konzipiert, dass sie eine genaue Musterbildung und Fehlerreparatur gewährleisten und letztendlich Ertragsverbesserungen erleichtern. NIKON NSR SF120 ist ein zuverlässiger und fortschrittlicher Wafer-Stepper mit einer Reihe von Funktionen für verbesserte Leistung, Durchsatz und Ausbeute. Dieses System bietet Hochgeschwindigkeits-Bildgebung, fortschrittliche Optik und umfassende Inspektions- und Reparaturfunktionen sowie eine hochmoderne Unit Area, die die Maschineneffizienz steigern soll.
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