Gebraucht NIKON NSR SF120 #9247819 zu verkaufen

NIKON NSR SF120 ist eine hochpräzise Vollfeld-Wafer-Stepper-Ausrüstung für die Herstellung integrierter Schaltungen. Es wurde entwickelt, um Schaltungselemente mit einer Präzision von 1,2 Mikron (bei 100-KeV) herzustellen. Das System verwendet ein telezentrisches Beleuchtungsschema, das der NIKON-Familie von Lithographiesystemen gemeinsam ist und die Projektion von Halbtonmustern über die gesamte Oberfläche von polierten Wafern ermöglicht. Das NIKON NSR-SF120 Gerät ermöglicht eine hohe Durchsatzverarbeitung von Wafern mit einer einzigen Belichtungsmaschine mit einem Durchsatz von 250 Wafern pro Stunde. Das Tool besteht aus einem leistungsstarken Bewegungsmodul mit linearen optischen Feldern, einem hochgenauen Abbildungsobjektiv, einer effizienten Lichtquelle und einem Modellcontroller. Die Waferstufe ist so konzipiert, dass sie eine genaue, wiederholbare Bewegung von polierten Wafern ermöglicht, was für die Erzielung eines hohen Durchsatzes entscheidend ist. Die Waferstufe umfasst reibungslose Linearmotoren, die den Wafer sowohl in X- als auch in Y-Achsen exakt positionieren können. Die bildgebende Linse in NSR SF 120 Geräten ist für bildgebende Elemente kleiner als 1,2 Mikrometer optimiert. Schlüsselkomponenten des bildgebenden Systems sind off-axis und asymmetrisch-off-axis parabolische Spiegel, die Aberrationen in der bildgebenden Einheit minimieren. Die Lichtquelle ist ein KrF Excimerlaser mit einer Wellenlänge von 248nm, der eine hervorragende Leistung für die Abbildung kleiner Strukturen auf polierten Wafern bietet. Die Maschinensteuerung ermöglicht eine präzise Steuerung der Abbildungsoptik sowie des Waferbewegungswerkzeugs. NSR SF120 Asset kann mit zusätzlichen Optionen konfiguriert werden, die die Performance weiter verbessern. Dazu gehören hochauflösende Optik zur Abbildung extrem kleiner Strukturen und spezialisierte Waferstufen zur Verarbeitung großer Wafergrößen. Das Modell bietet auch eine einstellbare Reinigungsanlage, die ihre Präzision weiter erhöht und die Prozessdurchlaufzeit verbessert. Zusammenfassend ist NIKON NSR SF 120 Wafer Stepper System für ultra-hochpräzise integrierte Schaltungsherstellung konzipiert. Es verfügt über fortschrittliche Optik- und Waferbewegungssysteme sowie einen KrF Excimerlaser, der die notwendige Lichtquelle bereitstellt. Darüber hinaus können Kunden ihre Systeme mit zusätzlichen Optionen für weitere verbesserte Leistung konfigurieren.