Gebraucht NIKON NSR SF120 #9251800 zu verkaufen

NIKON NSR SF120
Hersteller
NIKON
Modell
NSR SF120
ID: 9251800
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
i-Line stepper, 12" 2003 vintage.
NIKON NSR SF120 ist ein Hochleistungs-, Hochgenauigkeits- und hochzuverlässiger Wafer-Stepper. Es ist sowohl für die Produktion als auch für die Entwicklung in Fabriken für eine Vielzahl von Anwendungen wie Mikrofabrikation, Lithographie und optische Musterung konzipiert. Ausgestattet mit einer einstufigen Schrittausrüstung bietet NIKON NSR-SF120 eine überlegene Ausrichtungsgenauigkeit, einen hohen Durchsatz und eine breite Palette von Belichtungsoptionen. NSR SF 120 bietet eine Waferstufe, die Wafer mit bis zu 6 "Durchmesser unterstützt. Die Waferstufe weist einen äußeren Rahmen mit einer starren Aluminiumstruktur und einer hochpräzisen differentiellen Luftlagerstufe auf. Sein Design ermöglicht eine präzise Bühnenbewegung in der XY- und Z-Achse, so dass er einen maximalen Durchsatz von bis zu 5 Wafer/s und eine hohe Ausrichtgenauigkeit (± 0,5 µm) erreichen kann. Die Bühne ist zudem mit einem vollautomatischen Ausrichtsystem versehen. NSR SF120 ist mit einem 300mm Objektivbehälter ausgestattet, der für eine Vielzahl von NIKON-Optik optimiert ist und eine breite Palette von Sichtfeldern und numerischen Öffnungen bietet. Das Gerät ist auch mit einer voll ausgestatteten hochpräzisen Ausrichtmaschine ausgestattet, die eine flexible und genaue Positionierung der optischen Komponenten ermöglicht. Die 150W Quecksilberlampe bietet eine breite Palette von Belichtungsenergien und ermöglicht je nach Anwendung eine breite Palette von Belichtungseinstellungen. Die kurze Wellenlänge der Halogenlichtquelle ermöglicht NIKON NSR SF 120 eine Auflösung von 1 µm. NSR-SF120 verfügt über eine umfassende Steuerungsschnittstelle, die eine Werkzeugautomatisierung und einfache Integration in eine Produktionsumgebung ermöglicht. Seine benutzerfreundliche Touchscreen-Oberfläche ermöglicht es, das Asset einzurichten und Parameter in kürzester Zeit anzupassen. Darüber hinaus erfüllt NIKON NSR SF120 die einschlägigen Sicherheitsvorschriften und verfügt über ein benutzerfreundliches Sicherheitsmodell, das den Betrieb der Geräte sicher und effizient macht. Daher ist NIKON NSR-SF120 eine ideale Wahl, um eine effiziente und präzise Waferbelastung zu erreichen.
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