Gebraucht NIKON NSR SF120 #9351366 zu verkaufen

NIKON NSR SF120
Hersteller
NIKON
Modell
NSR SF120
ID: 9351366
i-Line stepper.
NIKON NSR SF120 ist eine Wafer-Schrittmaschine, die in die Standard-200mm-Wafer-Produktionsstufe passt. NIKON NSR-SF120 wurde für die High-End-Halbleiterproduktion entwickelt und bietet überlegene Leistung und fortschrittliche Funktionen zu einem erschwinglichen Preis. Mit einem 4-Achsen-Design verfügt NSR SF 120 über X, Y, θ und Z-Achsen-Stufen, um den Wafer während der Ausrichtungs- und Belichtungsprozesse zu bewegen. Die hohen dynamischen Ansprech- und hochpräzisen Encoder von NSR SF120 tragen zu einer höheren Prozessgenauigkeit bei, und der erweiterte X-Achsen-Bereich ermöglicht die Verarbeitung von bis zu sechzehn 8-Zoll-Wafern. NSR-SF120 verfügt über eine 10x, E-Feld, NA2.4 optische Linse, gekoppelt mit einer erweiterten Ausrichtungsausrüstung, die eine schnellere Ausrichtung bietet, ohne auf Genauigkeit zu verzichten. NIKON NSR SF 120 enthält auch einen fortschrittlichen rauscharmen Aktuator, um Vibrationen zu reduzieren und eine überlegene Prozessstabilität zu gewährleisten. Das fortschrittliche Ausrichtungssystem passt den Fokus der Linse automatisch an, um Astigmatismus zu reduzieren. NIKON NSR SF120 bietet auch automatisierte Helligkeitssteuerung, automatische Wafer-Lastausrichtung und Vorbeschichtung und Filmautomatisierung. Mit seiner fortschrittlichen programmierbaren Verarbeitung kann NIKON NSR-SF120 eine Vielzahl von Produktionsschritten und -prozessen automatisieren, einschließlich Waferbeladung und -beschichtung, Wafer-Randbelichtung, Photomasken-Einfügung, Ausrichtung, Belichtung und andere Prozesse. NSR SF 120 ermöglicht sogar Mustererkennungsfunktionen, um Zeit zu sparen und die Genauigkeit zu verbessern. Darüber hinaus umfasst NSR SF120 eine erweiterte Wafer-Handhabungseinheit. Die automatisierte Handhabungsmaschine verwendet Luftlagertechnik, um Wafer direkt vom Ausrichtungsschritt zum nächsten Schritt zu transportieren, was zu einem schnelleren Verarbeitungszyklus führt. Dank seiner Fähigkeit, bis zu sechzehn 8-Zoll-Wafer zu verarbeiten, reduziert dieses automatisierte Tool Ausfallzeiten und verbessert den Durchsatz. NSR-SF120 bietet auch überlegene Leistung und verbesserte Geschwindigkeit mit seinem langlebigen Motor und Regler. Mit seiner flexiblen Architektur und seinen fortschrittlichen Funktionen ist NIKON NSR SF 120 ideal für die High-End-Produktion von Halbleiterscheiben. Der maximale Datendurchsatz beträgt bis zu 150kHz, während die Gaming-Geschwindigkeiten bis zu 68kHz erreichen können. Die Standardfunktionen von NIKON NSR SF120 umfassen auch mehrere MTF- und andere Bildverarbeitungsfunktionen. Der Wafer Stepper bietet auch eine Auto-Suspend-Funktion, die die Verarbeitung unterbrechen kann, wenn lichtschwache Bedingungen erkannt werden, um überlegene Ergebnisse zu gewährleisten.
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