Gebraucht NIKON NSR SF130 #293630223 zu verkaufen

NIKON NSR SF130 ist ein spezialisierter Wafer-Stepper, der für die Lithographie-Verarbeitung bei der Herstellung von Hochleistungs-integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Komponenten eingesetzt wird. Es verwendet fortschrittliche, fortschrittliche Scanmethoden wie Variable Shape Beam (VSB) und selektive Fokussierung/nicht-selektive Beleuchtung (SFI/NSI), um die Auflösung nach der Belichtung zu maximieren, die Mustertreue zu verbessern und eine genaue Musterübertragung sicherzustellen. NIKON NSR-SF130 nutzt eine programmierbare Abtaststufe, die eine signifikante Flexibilität bei der Bewegung und Positionierung einer Lithographiemaske und eines Substrats ermöglicht, während ein UV-Laser das Maskenmuster mit höchster Präzision auf das Substrat aufnimmt. Diese Scanstufe ist in der Lage, bis zu 8-Zoll-Wafer mit einer Positioniergenauigkeit (X, Y und θ) von 0,05 μ m zu handhaben. Auch die Wiederholbarkeit des Scans ist mit 0,1 μ m sehr hervorragend. Der Stepper ist auch mit einer hochpräzisen Dosissteuerung ausgestattet, die die Laserleistung und Belichtungszeit genau steuert, sowie mit einem Vakuumfutter-System, das die Ebenheit und Parallelität des Substrats aufrechterhält. Darüber hinaus verfügt der NSR SF 130 auch über eine Regeleinheit, die die Verringerung von Aberrationen durch die thermische Ausdehnung der Maske gewährleistet und somit einen hochauflösenden Druck gewährleistet. Neben seiner beeindruckenden Genauigkeit und Leistung ist NSR SF130 auch hocheffizient. Die eingebaute hochgenaue Wafer-Ausrichtmaschine ermöglicht kürzere Rüstzeiten und höhere Produktivität sowie ein optimiertes Fokus-Steuerwerkzeug, das die Position des Wafers während des gesamten Belichtungsprozesses überwacht und anpasst. Darüber hinaus reduziert sein Wärmedichtungs-Laserdichtungsmodul die Wärmestrahlung in der Anlage erheblich und erhöht so die Gesamtstabilität des Modells. Insgesamt ist NSR-SF130 ein unglaublich fortschrittlicher und leistungsstarker Wafer-Stepper, der hochauflösende Drucke mit höchster Genauigkeit und Geschwindigkeit liefern kann. NIKON NSR SF 130 eignet sich dank integrierter Dosissteuerung, hochgenauer Scanstufe, Waferausrichtungssystem und optimierter Fokussteuerung bestens für die sichere und schnelle Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen mikroelektronischen Komponenten höchster Qualität.