Gebraucht NIKON NSR SF130 #293655222 zu verkaufen
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NIKON SF130 ist ein Mittelklasse-Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiterscheiben verwendet wird. Es ist ein gefeiertes Stück Produktionsausrüstung weit verbreitet in der Chip-Produktion, Photomasken-Produktion und fortschrittliche Geräteverpackung. NIKON SF 130 hat eine Standard-Scanfeldgröße von 5,9 Zoll (150) mm oder in Schritten bis 4,95 Mikrometer gemessen. Es bietet eine hohe Gleichmäßigkeit der Belichtungsfeldgröße, Ebenheit und Auflösung über das gesamte Scanfeld. Es verfügt über 25 mm Verzerrungskorrektur und 10 mm Autofokus-Fähigkeit, die eine hochpräzise und zuverlässige optische Abtastung des Wafers ermöglicht. SF130 ist ein Step-and-Scan-System mit einem Hochgeschwindigkeits-Linac. Seine Quelle ist ein Krypton (Kr) -Ionenlaser mit einer Wellenlänge von 532 nm. Der Laser hat eine breite Palette von Leistungsstufen und kann bis zu 100 um/Sec oder bis zu 20 X/s scannen. Es ist mit einem 28.5kV Netzteil ausgestattet, um eine hohe Genauigkeit und hochauflösende Bildgebung zu ermöglichen. Zusätzlich ist es mit einem ultrapräzisen interferometrischen Autofokussystem ausgestattet, das es dem Stepper ermöglicht, sich präzise auf jede einzelne Schicht gleichzeitig zu fokussieren. Neben den Standardmerkmalen verfügt SF 130 auch über eine hochqualitative Lichtquelle mit einer 4X3X3M Auflösung und einem weiten Sichtfeld für konsistente Lichtleistung. Darüber hinaus ist es in der Lage, verschiedene 180nm DUV-Optionen für ArF-Lithographie zur Verfügung zu stellen, sowie I-line-Fähigkeit für erweiterte Geräteverpackungen. Darüber hinaus verfügt das System über einen hervorragenden Durchsatz von 5 Zyklen/Stunde und kann bis zu 200 Dosisstufen in einem einzigen Job laufen. Zusammenfassend ist NIKON SF130 ein hochzuverlässiger und leistungsfähiger Wafer-Stepper, der weit verbreitet in der Chipherstellung, Photomaskenproduktion und fortschrittlichen Geräteverpackungen eingesetzt wird. Es bietet eine maximale Scanfeldgröße von 5,9 Zoll, 25 mm Verzerrungskorrektur, 10 mm Autofokus-Fähigkeit, einen Krypton-Ionen-Laser, ein 28.5kV Netzteil, 4X3X3M Auflösung und ein weites Sichtfeld. Es ist auch in der Lage, verschiedene 180nm DUV-Optionen bereitzustellen und verfügt über einen beeindruckenden Durchsatz von 5 Zyklen/Stunde.
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