Gebraucht NIKON NSR SF130 #9222618 zu verkaufen

NIKON NSR SF130 ist ein anspruchsvolles Wafer-Stepper-Tool, das entwickelt wurde, um präzise Wafer-Bearbeitungsfunktionen bereitzustellen. Dieser anspruchsvolle Stepper unterstützt eine Vielzahl von Schlüsselfunktionen wie Fokusausrichtung, Overlay-Ausrichtung und Belichtung. NIKON NSR-SF130 verwendet Schritttechnologie, die für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen eine hervorragende Genauigkeit und Wiederholbarkeit bietet. Die Genauigkeit der Belichtungssteuerung und Fokussierung wird durch eine Auto-Steering 2-Achsen-Stufe erreicht, die in der Lage ist, den Wafer innerhalb von Nanometern des gewünschten Ortes genau zu positionieren. Die eingebaute Ausrichtungsausrüstung verwendet eine Mustererkennungsstruktur, um die gemusterten Bereiche des Wafers auch dann genau auszurichten, wenn Belichtungsziele sehr nahe beieinander platziert werden. Der SF130 ist durch sein fortschrittliches Belichtungssystem in der Lage, einen hohen Durchsatz zu erreichen. Die Expositionseinheit verfügt über zwei unabhängige Quellen, die eine gleichmäßige Exposition über den Wafer gewährleisten. Diese Multi-Source-Maschine unterstützt eine Vielzahl von Wellenlängen und Beleuchtungstypen, einschließlich zeitgeteilter, mehrfacher Strahlen, Einzelkoppler und Quad-CMOS-Belichtungstechniken. Das Belichtungswerkzeug wird durch die doppelte gleichzeitige Belichtungsfähigkeit weiter verbessert, was eine Verdoppelung der Leistung mit der Hälfte der Zykluszeit ermöglicht. NSR SF 130 Wafer Stepper verfügt auch über eine integrierte XY-abhängige Auto-Focus-Asset bietet prestigeträchtig feine Fokus Steuerung. Das Auto-Focus-Modell verwendet einen proprietären Algorithmus, der Kantenerkennung und gradientenbasierte Techniken kombiniert, um automatisch den optimalen Belichtungsfokus zu bestimmen. Dazu gehört auch eine innovative aktive Out-of-Focus-Steuerung, die die Autofokus-Leistung weiter optimiert und kleinere Offsets aus dem gewünschten Belichtungsfokus kompensiert. NIKON NSR SF 130 ist ein modernes Wafer-Stepper-Tool, das überlegene Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz für die Waferbearbeitung bietet. Dieses Tool bietet eine leistungsstarke und zuverlässige Lösung für Halbleiterlithographieanwendungen, die eine hohe Präzision und Reproduzierbarkeit erfordern. Das vielseitige Belichtungssystem, die integrierte Autofokuseinheit und die erweiterten Ausrichtungsmöglichkeiten machen das SF130 zu einer überlegenen Wahl für anspruchsvolle Prozesse.