Gebraucht NIKON NSR SF130 #9237550 zu verkaufen

NIKON NSR SF130 ist ein Mehrfeld-Stepper mit hoher Präzision (D2D) für die fortschrittliche Überprüfung von dicken Wafern und Flachbildschirmen. NIKON NSR-SF130 verfügt über fortschrittliche 12 mag und 15 mag Dual-Multifeldlinsen und bietet somit eine hervorragende Bildgebungsleistung für anspruchsvolle Photolithographieanwendungen. Dieses Gerät ist in der Lage, ein einzelnes gemustertes Feld an einem beliebigen Punkt innerhalb des Abbildungsbereichs 75mm x 75mm zu belichten und kann innerhalb von 2 Sekunden zwischen zwei eingestellten Feldern wechseln. Durch Auswahl von Hochgeschwindigkeitsschritt und Scanmodus kann dieser Stepper 3 bis 6 Wafer pro Stunde platzieren und 8-Zoll oder 12-Zoll-Wafergrößen mit einem 1/3-Reduktionsbereich unterstützen. Das System ist in der Lage, die Genauigkeit der Ausrichtung mit linearen Encodern, Fokus und on-the-fly Vorwärts-Rückwärts-Scan-Steuerung. Darüber hinaus verfügt es über eine automatisierte Ausrichteinheit, um eine überlegene Überlagerungsausrichtungsgenauigkeit zu gewährleisten und Fehlausrichtungsrisiken zu reduzieren. Diese Maschine verfügt auch über eine hochpräzise Stufe mit Linearmotoren und eine temperaturgesteuerte Umgebung für eine verbesserte Bildgebungsgenauigkeit. NSR SF 130 verfügt über ein Vakuumfutter und einen Halter zur Verhinderung von Substratschlupf, wodurch Photomasken aus der Umgebung des Wafers exakt belichtet und übertragen werden können. Das Werkzeug kann auch verschiedene Arten von Photoresists wie chemisch verstärktes und thermisches Oxid verwenden und verhindert Waferkontaminationen beim Transfer. NIKON NSR SF 130 verfügt über mehrere robuste Sicherheitsmerkmale, wie eine Not-Aus-Taste und Ein-Touch-Reset, Auto-Recovery-Funktionen und automatische Abschaltfunktionen. Dieses Asset verwendet ein wartungsarmes, einfach zu bedienendes Steuerungsmodell, das schnelle Kick-Starts, einfache Wartung und weniger Ausfallzeiten aufgrund der Rückverfolgbarkeit der Eingaben ermöglicht. NSR-SF130 vereint fortschrittliche Optik und innovatives Design für maximale Prozesskontrolle und effiziente Wafer-Handling-Geräte. Dieser Stepper nutzt fortschrittliche Funktionen wie umfassende Ausrichtung und Lichtleckage-Erkennung und erzielt hohe Produktionsausbeuten durch seine engen Präzisionslevel und einzelne Wafer-Belichtungsfunktionen. NSR SF130 ist derzeit führend in seinem Bereich und findet Anwendung in einer Vielzahl von Bereichen wie Halbleiter- und Flachbildschirmfertigung, Life-Science-Forschung und anderen Bereichen der Präzisionsbildgebung.