Gebraucht NIKON NSR SF130 #9243127 zu verkaufen

Schritt-Oblate von NIKON NSR SF130 ist eine hohe Präzision, Ultrahochgeschwindigkeitssteindruckverfahrenausrüstung mit Leistungsfähigkeiten für eine breite Reihe von Halbleitergerätproduktionsverarbeitungsanwendungen. Dieses System ist in der Lage, Sub-50nm-Auflösung über einen weiten Dynamikbereich zu liefern und ermöglicht die Produktion von Hochleistungs-Hochdichtegeräten mit optimierten Prozesskosten. Es bietet die höchste Qualität der Bildgebung auf gemusterten Wafern, mit dem Durchsatz und der Produktivität erforderlich, um Ertrag und Geräteleistung zu erhöhen. NIKON NSR-SF130 bietet einen sehr hohen Durchsatz mit bis zu 5.000 Wafern pro Stunde für einzelne Materialien und bis zu 8.000 Wafern pro Stunde für mehrere Materialien. Es bietet auch Hochgeschwindigkeits-ND-Ausrichtung und Belichtung, mit der Fähigkeit, mehrere Wafer Ausrichtung auf einmal durchzuführen. Dieses Gerät bietet Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung zur Anpassung der Belichtungseinstellungen und Prozessoptimierungseinstellungen, um die Produktionsleistung in Echtzeit zu optimieren. Der NIST Quantum Deflection Multiple Subfield Algorithmus (QDMSA) ermöglicht eine optimierte Bildgebungsleistung, während die AutoMatch Imaging Technologie die Ausrichtungszeit reduziert und eine hohe Präzision beim Wafer-Nähen bietet. Der Stepper verfügt über flexible Strukturierungstechnologie, die eine variable Linienbreite bietet und das Arbeiten an Überhängen und verschiedenen Linienwinkeln unterstützt, um Muster auch in schwierigen 3D-Regionen präzise zu positionieren. Die Maschine verfügt auch über ultrahochauflösende NGREELEX, die Linienkantenrauhigkeiten eliminiert und die Produktion von hochleistungsfähigen, ultrafeinen Geräten ermöglicht. NSR SF 130 bietet eine hervorragende, stabile Produktionsleistung für den langfristigen Produktionsbetrieb mit einer Anti-Kontaminationskonstruktion, die für den kontinuierlichen Betrieb über längere Zeiträume gebaut wurde. Es bietet digitale Servosteuerung für schnelle, genaue Ausrichtung und Belichtung mit minimaler Vibration. Das Tool ist auch mit NIKON Smart Chip-Technologie für die integrierte Bedienung und Überwachung der musterbasierten Leistung ausgestattet, einschließlich Fokus-, Dosis- und Belichtungseinstellungen. NSR SF130 Asset ist ideal für den Einsatz in Halbleiter-Serienproduktionslinien und bietet hervorragende Leistung durch innovative Lösungen, um den steigenden Anforderungen und der Komplexität der Entwicklung von Halbleiterbauelementen gerecht zu werden.