Gebraucht NIKON NSR SF130 #9247821 zu verkaufen

NIKON NSR SF130
Hersteller
NIKON
Modell
NSR SF130
ID: 9247821
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
i-Line stepper, 12" 2005 vintage.
NIKON NSR SF130 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Seine hochgenauen Ausrichtungs- und Auflösungsfunktionen maximieren die Prozesserträge bei gleichzeitig überlegener Produktqualität und niedrigen Betriebskosten. NIKON NSR-SF130 ist ein wichtiger Bestandteil der NIKON NEXACT Serie von Wafer Steppern und wird bei der Herstellung einer Reihe von elektronischen Bauelementen eingesetzt, darunter aktive elektronische Bauelemente, Dünnschichttransistoren, CIS, RESIST und CCD-Bereiche. NSR SF 130 hat eine maximale Auflösung von 0,9 nm, was eine extrem genaue Geräteausrichtung und -verarbeitung ermöglicht. Dies ermöglicht auch hohe Durchsatzraten und macht die Maschine ideal für die Großserienproduktion. Die motorisierte Stufe der Maschine kann bis zu 400 mm/s Lineargeschwindigkeit und 150 mm/s Spitzenbeschleunigung mit 0,25 μ m Positioniergenauigkeit erreichen. Dies gewährleistet eine schnelle und genaue Positionierung von Mikroelementen auf dem Werkstück. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine hochpräzise Polymer-Lagerstufe (PBS), um ein reibungsloses und zuverlässiges Wafer-Handling mit überlegenen Schwingungsdämpfungseigenschaften zu gewährleisten und eine überlegene Kontrolle der Waferausrichtung zu ermöglichen. Die fortschrittliche Optik bietet zudem eine hervorragende Bildqualität bei hoher Reproduzierbarkeit. Das AFAS (Advanced Focus Algorithm System) passt die Fokuseinstellung auf ein vorgegebenes Niveau an und nimmt Anpassungen entsprechend dem gewünschten Bild vor, wodurch die Fokuseinstellzeit reduziert wird. NIKON NSR SF 130 verfügt zudem über eine reinraumkompatible Abdeckung, die die Maschine für eine hohe Genauigkeit und verschmutzungsfreie Bearbeitung und Laserbearbeitung geeignet macht. Darüber hinaus umfasst die Maschine einen Wafer-Ausrichtungssensor und eine integrierte Scanverarbeitung, so dass sie direkt in eine Produktionslinie integriert werden kann. Zusätzlich beinhaltet die Maschine Strahl-zu-Strahl-Redundanz und Submikron-Ausrichtungsmöglichkeiten, die verbesserte Produktionsausbeuten ermöglichen. Insgesamt ist NSR-SF130 ein hochpräziser und zuverlässiger Wafer-Stepper, der in der Lage ist, überlegene Gerätequalität mit hohen Durchsatzraten zu produzieren. Seine hochauflösenden Ausrichtungs- und Auflösungsfunktionen sorgen für Benutzerfreundlichkeit und schnelle Rüstzeiten, während seine vibrationsdämpfenden Eigenschaften und seine integrierten Scanfunktionen seine Fähigkeiten weiter verbessern und es zu einer wertvollen und wichtigen Ergänzung für jede Halbleiterproduktionsanlage machen.
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