Gebraucht NIKON NSR SF130 #9289676 zu verkaufen
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ID: 9289676
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Stepper, 12"
RH Rotation arm motor
WH Load slider
Wafer l/F error
DS10 GPIB Board DIGI board
PIEZO Interface board
WH Robot
FW Robot
WH Robot controller
LC Relay amp: 2-1
Blind YU motor
LC Relay amp: 1-3
LC Relay amp: 4-1
LSA Laser missing
2005 vintage.
NIKON NSR SF130 Wafer Stepper ist eine Art Stufen- und Wiederholmaschine, die speziell für die Mikroelektronikindustrie entwickelt wurde. Durch den Einsatz einer fortschrittlichen optischen Ausrüstung ist NIKON NSR-SF130 in der Lage, eine Vielzahl von Bildmustern exakt zu belichten, auszurichten und direkt auf eine Oberfläche einer einzelnen oder mehrfachen Substratscheibe zu verfolgen. Ein großer Vorteil der Verwendung von NSR SF 130 Wafer Stepper ist seine extreme Präzision und Genauigkeit. Diese Präzision ermöglicht es dem Stepper, Bildmuster mit einer Auflösung von bis zu einem Zehntel der Größe eines menschlichen Haares genau zu belichten, auszurichten und zu verfolgen. Der Stepper hat auch eine hohe Durchsatzrate, was bedeutet, dass er in sehr kurzer Zeit schnell große Anzahl von Substraten genau belichten kann. NIKON NSR SF 130 ist zudem mit einem hochentwickelten automatisierten Ausrichtsystem ausgestattet. Diese automatisierte Ausrichteinheit korrigiert jeden Fehler bei der Positionierung der zu belichtenden Waferschicht, indem sie den Wafer schnell und genau in die richtige Position verlagert. Dies eliminiert zeitaufwändige manuelle Ausrichtung und ermöglicht höhere Durchsatzmengen. Darüber hinaus ist NSR-SF130 so konzipiert, dass es eine eingebaute Ultra-High-End-Ausrichtungsmaschine gibt, die in der Lage ist, kleinste Abweichungen in den Bildmustern zu erkennen, wodurch eine wesentlich höhere Genauigkeit bei jeder Belichtung erzielt wird. Dadurch wird sichergestellt, dass auch die komplexesten Bildmuster genau auf dem Substrat wiedergegeben werden können. NSR SF130 ist auch mit mehreren erweiterten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einem antistatischen Werkzeug, einer mehrstufigen automatischen Abschaltung, einem Überstromschutz und einem automatischen Zurücksetzen. Diese Sicherheitsmerkmale stellen sicher, dass das Substrat keinen gefährlichen Bereichen oder überhöhten Temperaturen ausgesetzt ist, wodurch es vor Beschädigungen geschützt wird. Insgesamt ist NIKON NSR SF130 Wafer Stepper eine fortschrittliche und zuverlässige Art von Step und Repeat Asset. Es bietet die höchstmögliche Präzision und Genauigkeit zur Verfügung, eine hohe Durchsatzrate und erweiterte Sicherheitsfunktionen, die alle machen es eine gute Wahl für die Mikroelektronik-Industrie.
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