Gebraucht NIKON NSR SF130 #9391655 zu verkaufen

NIKON NSR SF130
Hersteller
NIKON
Modell
NSR SF130
ID: 9391655
i-Line steppers.
NIKON NSR SF130 ist ein Waferstepper, der für die Strukturierung von Schichten bei der Herstellung komplizierter mikroelektronischer Bauelemente wie integrierter Schaltungen (ICs) unerlässlich ist. Es besteht aus zwei primären Elementen: der Projektionsoptik und der Bühne. Die Projektionsoptik besteht aus einer Linse, die auf einer präzisen linearen Bühne montiert ist und für die Projektion von Bildern auf die Waferoberfläche verantwortlich ist. Diese Projektionsoptik befindet sich weiter auf einer Bühne, die sich sowohl in X- als auch in Y-Richtung bewegt. Es verwendet auch Encoder, um die Bewegungen der Bühne zu messen und Rückmeldung an die Steuergeräte zu geben. NIKON NSR-SF130 Wafer Stepper verwendet erstklassige Funktionen, um eine hohe Auflösung und Präzision zu gewährleisten. Es verfügt über ein ausgezeichnetes optisches Projektionslinsensystem mit einem NA von 0,97, das eine hohe Schärfe und Linearität sowie eine effektive Auflösung von 0,75µm oder weniger bietet. Darüber hinaus verfügt dieser Wafer-Stepper über eine robuste Schutzeinheit sowohl für die Projektionslinse als auch für Wafer sowie eine konvektive Kühlung für einen hohen und stabilen Durchsatz. NSR SF 130 ist auch mit einem Doppelstrahl-Feld Gleichförmigkeit Kalibrierung Maschine ausgestattet, um sicherzustellen, dass die projizierten Bilder und Beleuchtungspunktgröße der Bühne bleibt praktisch gleichwertig von allen Positionen. Darüber hinaus wird die Projektionslinse mit einem maßgeschneiderten Montagestabilisator befestigt, um die Aberrationen zu beseitigen, wodurch eine perfekte Strukturierung auf der Waferoberfläche ermöglicht wird. Dieser Wafer-Stepper liefert ein Wafer-Ausrichtwerkzeug für hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit, was ihn ideal für kostensensible Produktionsumgebungen macht. Darüber hinaus macht die breite Palette der Belichtungseinstellungen es kompatibel mit Bildgeneratoren und einer Reihe von Photomasken. Schließlich verfügt dieser Wafer-Stepper über erstklassige Fähigkeiten, um einen hohen Durchsatz zu gewährleisten und die Schichten integrierter Schaltungen genau zu strukturieren, was ihn zu einem Spitzenreiter bei der Herstellung von ICs macht.
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