Gebraucht NIKON NSR SF130 #9391948 zu verkaufen

NIKON NSR SF130 Wafer Stepper ist eine leistungsstarke, hochpräzise Ausrüstung, die zur lithographischen Mustererzeugung in der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Dieses System ist für die Waferfertigung auf 8 „, 12“ und größeren Wafern ausgelegt und wird in Wafer-Stepper-Anwendungen einschließlich kritischer Schicht- und Nachätzausrichtung eingesetzt. NIKON NSR-SF130 bietet eine Auflösung von 0,05 Mikrometern (1/20.000 Zoll) mit einer Wiederholbarkeit von 0,02 Mikrometern und einer Nicht-Orthogonalitätsgenauigkeit von 0,5 Grad. Es ist in der Lage, einen Wafer mit einer Scangeschwindigkeit von bis zu 450mm/Sekunde zu scannen. Es ist eine einstrahlige Stufen- und Wiederholeinheit mit großem Durchmesser und automatischer Maschinenausrichtung. Dies bedeutet, dass er einen Wafer bewegen und Merkmale über den gesamten Waferbereich genau reproduzieren kann. NSR SF 130 Wafer Stepper ist mit einem Projektionsobjektiv ausgestattet, das es ermöglicht, Bilder von sehr kleiner Größe zu projizieren. Die Lichtquelle wird von einer CCD-Kamera oder einem Halbleiterlaser bereitgestellt und hat einen Wellenlängenbereich von 320nm bis 450nm. Mit einem stabilisierten Signalstrahl ist das Werkzeug in der Lage, Nanometermuster mit höchster Genauigkeit und Präzision zu erzeugen. Seine ausgeklügelte Bildsensortechnologie sorgt dafür, dass Bilder präzise erfasst werden. Das Asset hat die Fähigkeit, Verschiebungen und Unvollkommenheiten in den Bildern auf der Sub-Pixel-Ebene zu erkennen und dadurch Verzerrungen zu korrigieren. Die Bearbeitungsgenauigkeit wird durch ein Autofokus-Modell weiter verbessert, das zur Einstellung der Optik verwendet wird, um den besten Fokus zu erzielen. NIKON NSR SF 130 Wafer Stepper bietet auch eine Vielzahl von Bildoptimierungsfunktionen, die es seinen Benutzern ermöglichen, Belichtungspegel und Fokusamplitude selektiv zu steuern. Seine fortschrittliche Bildregistrierungseinrichtung wertet Dicke und Topographie des Wafers aus und ermöglicht so präzise Überlagerungen. Es ist mit einem Datenautomatisierungs-Softwarepaket namens NIKON GMS-MOTION ausgestattet, das die Prozesse der Musteranpassung und Durchsatzoptimierung vereinfacht. Dieses System bietet Benutzern die Flexibilität, Vorlagen zu erstellen, wiederholbare Stapelaufträge auszuführen und Informationen auf dem LCD-Monitor anzuzeigen. Darüber hinaus integriert NIKON SF130 Wafer Stepper in NIKON Workstations und kann in externe Software integriert werden. NSR SF130 Wafer Stepper ist eine hervorragende Investition für hochpräzise Projekte. Seine fortschrittlichen bildgebenden Fähigkeiten, robuste Konstruktion und Automatisierungsflexibilität machen es für eine breite Palette von Wafer-Herstellungsprozessen geeignet. Mit seiner hohen Präzision und Wiederholbarkeit ist NSR-SF130 ideal für die Entwicklung kritischer Schichten in Halbleiterbauelementen und trägt zu höheren Ausbeuten und höherer Produktivität bei.