Gebraucht NIKON NSR SF140 #293589679 zu verkaufen
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NIKON NSR SF140 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der vor allem bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen eingesetzt wird. Es ist mit einem hochauflösenden Scankopf, einer fortschrittlichen Beleuchtungsausrüstung und einem proprietären Linsensystem ausgestattet, was es zum idealen Werkzeug für die hochpräzise Musterbildgebung auf einer Vielzahl von Materialien und Substraten macht. Der Hauptkörper besteht aus einer zweistufigen XYZ-Linearmotoreinheit für hochpräzise Schrittbewegung sowie einer XY-Spannvorrichtung für eine schnelle, genaue Waferausrichtung. NIKON NSR-SF140 verfügt über eine 6-Achsen-Biegearchitektur für ultrahochstufige Beschleunigung und minimierte Vibrationen und bietet einen stabilen Bildgebungsprozess. Der Standard-Scankopf ist mit einer ultrahochauflösenden 5-Achsen-Stufe ausgestattet, die eine Bildgebung mit einer Schrittweite von bis zu 6 nm ermöglicht. Weiterhin weist die auf dem Scankopf befindliche CCD-Kamera eine Auflösung von 26 Megapixeln auf, die ein Bild des Wafers mit beispielloser Präzision und Detailgenauigkeit liefert. NSR SF 140 verfügt auch über ein spezialisiertes Beleuchtungswerkzeug, das den Substratdurchsatz erhöht, indem ein einheitlicher BPI (Helligkeit pro Zoll) über das gesamte bildgebende Feld bereitgestellt wird. Das optische Objektiv besteht aus mehreren Tandemlinsen mit einem NA von 0,55 und einem Vergrößerungsbereich von 5X-100X und bietet eine ausgezeichnete Overlay-Genauigkeit auch bei Mustern mit hoher Dichte. Insgesamt ist NIKON NSR SF 140 ein hochentwickelter Wafer-Stepper, der hervorragende bildgebende Ergebnisse liefert. Durch die Kombination eines revolutionären Scankopfes, eines präzisionsorientierten Objektivmodells und einer speziellen Beleuchtungsausrüstung bietet NSR-SF140 ultrahochauflösende Bildgebung und höchste Overlay-Genauigkeit in einem kompakten, benutzerfreundlichen Paket.
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