Gebraucht NIKON NSR SF140 #293630225 zu verkaufen

NIKON NSR SF140 ist ein variabler Feld, Lithographie-Scanner mit einem breiten Anwendungsbereich, der einen hohen Durchsatz und Wirtschaftlichkeit ermöglicht. Es ist ein 5-Achsen-Wafer-Stepper, der außergewöhnliche Musterqualität von den anspruchsvollsten Maskenlayouts durch eine Kombination aus hochpräziser Bewegung, flachem Feldspiel und neuartiger bildgebender Optik liefert. Die intelligente Beleuchtungssteuerung (IIC) behält konstante Belichtungsparameter bei, unabhängig von Größe, Layout oder Sichtfeld. Das SF140 bietet ein breites Sichtfeld und eine große Scanbereichskompatibilität mit einer Feldbreite von bis zu 1 Meter und 150 mm Feldhöhe. Das SF140 liefert auch sehr schnellen Waferdurchsatz und hohe Durchsatz Werkzeugbelastung durch seine automatisierte Ausrichtung und Scan-Fähigkeit. Es unterstützt rückseitige Belichtung und Ungleichmäßigkeit des Feldes, um die Chipfläche, die in einem Scan ausgeführt wird, weiter zu erhöhen. Mit seinem Last- und Zählindex (L&CI) für die Waferbeladung und -handhabung ist es möglich, verschiedene Wafer schnell auf den Stepper umzuladen, wodurch die Zeit reduziert und der Durchsatz erhöht wird. Das SF140 bietet zudem eine hervorragende Bildgleichmäßigkeit, da seine fortschrittliche Optik eine hohe Fokustiefe und eine geringe Verzerrung über das gesamte Sichtfeld bietet. Es ist auch mit fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen für Verzerrungskalibrierung, Aberrationskorrektur und Kantenerosionskompensation ausgestattet. Seine hochauflösende bildgebende und fokussierende Struktur arbeitet im Tandem mit kontrollierbarem Abtastabstand und optischem Fokus, der extrem feine Muster und fehlerfreies Overlay mit wiederholbaren Ergebnissen ermöglicht. Das auf Schwingspulenmotoren basierende Design des SF140 bietet ultraschnelle Beschleunigung, hohe Genauigkeit und kein mechanisches Spiel. Es ermöglicht auch eine gleichzeitige mehrachsige Ausrichtung und Abtastung (Rollschweißen). Es ist auch gut geeignet für doppelte Mustertechniken, aufgrund seiner kleinen Beleuchtungspunktgröße und der schnellen Reaktionszeit. Weitere Merkmale sind ein Anti-Elektronen-Raumladung Manipulator, Anti-Elektronen-Reflexion fokussiert Ionenstrahl, und ein Laser-Alignment-System, die alle für Wafer-Belichtung wichtig sind. Der SF140 hat auch ein Balkenumgebungsmanagementsystem im Raum, stabile und niedrige Verzerrungsbildaufbereitungsbedingungen, sogar in weniger berücksichtigend, als ideale Umgebungen. Die Roboter-Wafer-Handhabbarkeit des SF140 bietet eine schnelle und einfache Handhabung von bis zu 50 Wafern, wodurch der Durchsatz weiter steigt. Insgesamt bietet NIKON NSR-SF140 eine beeindruckende Kombination aus Präzisionsbewegung, bildgebender Optik und fortschrittlicher Software, was zu hohem Durchsatz, erweiterten Musterfunktionen und ausgezeichneter Overlay-Genauigkeit führt.