Gebraucht NIKON NSR SF155 #9298590 zu verkaufen

NIKON NSR SF155 ist ein Wafer-Stepper, der den höchsten Anforderungen der fortschrittlichen Lithographie gerecht wird. Es ist eine hochproduktive Plattform, die Anwendern Kosteneffizienz, Prozessgleichmäßigkeit und schnelle Ausrichtungsgenauigkeit bietet. Dieses Tool ist mit der patentierten 'Super Resolution' -Technologie des Unternehmens und einem optimierten Dosisfrequenzdetektor ausgestattet, so dass es die fortschrittlichsten nanometrischen Schaltungsmuster produzieren kann. NSR SF155 ist eine große hochauflösende SEMI-Stufen- und Scan-Ausrüstung, bestehend aus einem Photolithographie-Optikmodul, einem Belichtungsregler und einem Wafer-Bühnen- und Rückseite-Ausrichtungs-Subsystem. Das SF155 bietet eine überlegene optische Leistung, bietet mehr als 55% Sichtgrad und eine hohe numerische Apertur (NA) von 1,46. Es ist auch in der Lage, einen breiten Belichtungsbereich von 5 Mikrometer bis 300mm bereitzustellen, was die Verwendung von fortschrittlichen Musterverfahren ermöglicht. Die Plattform wird von einem NSR-EX Belichtungsregler angetrieben, der eine Motorsteuerung und eine hervorragende Platzierungsgenauigkeit bietet. Es bietet ein flexibles interferometrisches Ausrichtungssystem mit einer eingebauten Trockenausrichteinheit und bietet Sub-Nanometer-Ausrichtungsgenauigkeit bis zu 10 Angström. Die Bewegungssteuerung der Maschine ist in der Lage, 5 nm in der X- und Y-Achse und sein Scan-Bereich ist bis zu 200 nm. Das Photolithographie-Tool verfügt über eine Lasermarkierungs-Laserquelle zur Ausrichtung und verfügt über einen 3-Wafer-Autolader für erhöhte Produktivität und Arbeitseffizienz. Das Asset verfügt auch über ein computerintegriertes Bildverarbeitungspaket, das Benutzern eine breite Palette an funktionalen Funktionen bietet. Die Plattform kann mit verschiedenen Optionen wie einem erweiterten Fokusbereich, Wafer-Mapping und 5D-Bildsimulation angepasst werden. NIKON NSR SF155 bietet zudem ein fortschrittliches Modell zur Mustererkennung und Linienprofilanalyse, das sowohl OPC- als auch RET-Datenformate unterstützt. Es bietet auch dreidimensionale Schussbildung und Nähen von Linienmustern, die für die komplexesten Lithographieanwendungen benötigt werden. Die Ausrüstung ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt und bietet schnelle Scanleistung bei minimalem Schock und Vibrationen. Insgesamt ist NSR SF155 eine effektive Lithographie-Plattform für die fortschrittliche IC-Fertigung mit seinen ausgeklügelten Technologien und Performance.