Gebraucht NIKON NSR SF155 #9311227 zu verkaufen

NIKON NSR SF155
Hersteller
NIKON
Modell
NSR SF155
ID: 9311227
Wafergröße: 12"
i-Line stepper, 12" 2010 vintage.
NIKON NSR SF155 ist ein Wafer-Stepper, der für hohe Produktivität und vielseitige Maskenausrichtung entwickelt wurde. Ideal für die Produktion von fortschrittlichen Geräten wie MEMS, LED und Sensoren bietet der Stepper eine hervorragende Leistung für eine Vielzahl von Anwendungen. NSR SF155 ist mit der neuesten NIKON GEN5 Lithographiequelle und einer patentierten radialen Gleichmäßigkeitskontrolle ausgestattet, um eine hohe Genauigkeit und stabile Überlagerung zu gewährleisten. Seine 150mm Maske Bühne bietet 74mm max X Überlappungsbereich, und kann eine volle 8-Zoll-Wafer ausrichten. NIKON innovatives optisches System und Zoniereinheit richten den Wafer mit ≦ 15 μ m Genauigkeit an der Maske aus. Die mechanische Positioniereinheit des Steppers bietet einen maximalen Hubbereich von 150 mm mit Nanometer-Genauigkeit und ermöglicht eine Positionskontrolle des Substrats mit nur einer Belichtung. NIKON NSR SF155 ist für hohen Durchsatz ausgelegt. Es verfügt über die schnelle und effiziente NIKON Asymmetrial Frequency Scanning Machine (AFSS), die einen Durchsatz von 510WPH in einem einstufigen Scan-Prozess erreichen kann. Der Stepper ist auch mit einem Multi-Track-Field-Beleuchtungswerkzeug mit 7nm geneigten Linien ausgestattet, um monolithische Muster bei höheren Auflösungen zu belichten. NSR SF155 ist auch auf Zuverlässigkeit und geringe Wartung ausgelegt. Seine schnelle Gate-Ventil Austausch Asset reduziert Ausfallzeiten durch Wartung, während seine patentierte Supraleiter statische Eliminieren Modell verringert Verschmutzung im Stepper. Es ist auch mit Strahlungsabschirmung und einer Rauchabfuhr Ausrüstung entworfen, um einen sicheren Betrieb unter Aufrechterhaltung der Reinraumbedingungen zu gewährleisten. Insgesamt ist NIKON NSR SF155 ein fortschrittlicher Produktionsschrittmacher, der entwickelt wurde, um eine optimale Leistung bei der Produktion fortschrittlicher Geräte wie MEMS, LED und Sensoren zu bieten. Seine Kombination aus Geschwindigkeit, Genauigkeit und geringen Wartungskosten macht es zu einer idealen Wahl für Produktionslinien.
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