Gebraucht NIKON NSR TFH 2 #9205047 zu verkaufen

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NIKON NSR TFH 2
Verkauft
Hersteller
NIKON
Modell
NSR TFH 2
ID: 9205047
Wafergröße: 2"
Weinlese: 1995
Stepper, 2" 1995 vintage.
NIKON NSR TFH 2 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der die anspruchsvollsten Lithographie-Anforderungen bei der Herstellung von führenden Halbleiterbauelementen erfüllt. Es bietet eine extrem hochauflösende, genaue Bühnenbewegung mit einer Unterwellenlängenausrichtungsgenauigkeit von 0,5 nm. Das Bewegungsgerät verwendet einen High-End-Linearmotor mit Dual-Stage-Modulen (X-Y und Z-Achse) zur präzisen Steuerung der Stellbewegung. Die Waferstufe und das Belichtungssystem sind mit Top-of-the-Line-Datenerfassungs- und Positionierungskomponenten ausgestattet, die eine Feinauflösungskontrolle über Waferbewegungen ermöglichen. Der Wafer-Stepper wird von einem leistungsstarken programmierbaren Smart Controller angetrieben, der eine vollständige Integration mit fortschrittlichen industriellen Automatisierungssystemen ermöglicht. Mit seinen leistungsstarken Datenerfassungs- und Fusionstechniken kann der Controller problemlos Daten aus verschiedenen Quellen wie Sensoren, Bildverarbeitung, CNC-Steuerungen, Vision-Systemen und sogar 3D-Scanning extrahieren und so die Optimierung und Integration von Einheiten über unterschiedliche Fertigungsprozesse hinweg ermöglichen. Die Steuermaschine ist weiter mit dem leistungsstarken Scanning White-Light Interferometry (SWLI) Werkzeug zur präzisen, genauen Ausrichtung und Positionierung der Waferstufe integriert. Das Laser-Präzisionsstrahl-Optikmodul von NSR TFH 2 sorgt für eine Subwellenlängenauflösung des Lithographieprozesses, während seine High-End-Ionen- und Elektronenoptikmodule eine pixelgenaue, kontrastreiche Lithographie bieten. Es unterstützt eine Vielzahl von Photomasken-Typen, einschließlich PSM, LCD, BD und DMDM-Produkte. Zusätzlich enthält das optische Sendemodul eine adaptive optische Korrektureinrichtung, die Aberrationen im optischen Pfad kompensiert. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Reihe flexibler optischer Spektren erhältlich, die eine hervorragende Leistung in einem breiten Bereich der Belichtungswellenlänge bieten. Sein vielseitiges Bildsensor-Array bietet eine zuverlässige Belichtungssteuerung und eine ausgezeichnete Bildqualitätskontrolle. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR TFH 2 über eine Ultra-High-Speed-Datenschnittstelle, die eine schnellere maschinelle Datenübertragung und -manipulation sowie eine Verbindung mit hoher Bandbreite für eine schnellere Datenkommunikation ermöglicht. Dies hilft, den Zeitaufwand für die Ausführung jedes Auftrags zu reduzieren und ermöglicht einen schnelleren Durchsatz. Die Maschine unterstützt auch eine Reihe von Musterdatentypen und -formaten, wodurch die Verwaltung und Übertragung der Daten erleichtert wird. Insgesamt ist NSR TFH 2 ein ultrapräziser und leistungsstarker Wafer-Stepper, der führende Halbleiterbauelement-Fertigungsprozesse mit höchster Qualität Lithographie unterstützen kann. Es ist in der Lage, Subwellenlängenausrichtungsgenauigkeit, genaue Kontrolle über die Waferbewegung und zuverlässige Bildqualität. Die High-End-Optik und die Datenkommunikationsmöglichkeiten tragen zu ihrer Attraktivität bei.
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