Gebraucht NIKON NSR TFH 2 #9206223 zu verkaufen

NIKON NSR TFH 2 ist ein Wafer Stepper entwickelt, um Lithographie Aufgaben bei der Herstellung von Halbleitern zu erfüllen. Es verwendet eine Stief-Und-Mehrmaligfotolithographieausrüstung, die dazu fähig ist, Hopräzisionsherstellung mit Förderungen inthroughput und Zuverlässigkeit zu versorgen. Die kompakte Bauweise ermöglicht einen geringen Platzbedarf mit einem automatisierten Gleissystem, das den Transport und die Bewegung von Waferbühnen ermöglicht. Der TFH 2 ist in der Lage, Substrate bis 200 mm Größe zu verarbeiten und verfügt über eine variable numerische Apertur „NA“ -Optik-Einheit. Dies ermöglicht eine überlegene bildgebende Auflösung, die für die mikro- und nanogroße Herstellung geeignet ist. Es umfasst die Verwendung einer Immersionsflüssigkeitslinsenmaschine mit hoher NA-Leistung, ultravioletten Ultrahochleistungs-Laserlichtquellen und einer optischen Hochgeschwindigkeitsbewegung zum Scannen, Schwenken und Halbfeldnähten, um den Durchsatz zu verbessern. Der TFH 2 ist mit einem Fusionsbildwerkzeug und ausgeklügelten Ausrichtungssystemen ausgestattet, um eine hochgenaue Musterplatzierung zu ermöglichen. Es enthält auch Funktionen wie Mehrfachbelichtung und Abtastüberlappung, um Heftprobleme und wiederholbare Fokusebeneneinstellung von Substrat zu Substrat zu vermeiden. Der Stepper hat eine hohe Musterauflösung, die sich gut für Speichergeräte, Anzeigegeräte, Hochleistungs-Analog- und Digitalanwendungen eignet. Darüber hinaus ist der TFH 2 für eine verbesserte wartungsarme Lösung ausgelegt, die eine minimale manuelle Anpassung und Anpassung erfordert. Es bietet auch automatische Inspektion, um sicherzustellen, dass alle Komponenten richtig ausgerichtet und kalibriert sind, sowie anpassbare Benutzereinstellungen für mehr Produktivität und Effizienz. Die benutzerfreundlichen Wartungs- und Datenaustauschschnittstellen ermöglichen die Echtzeitbeobachtung und Kontrolle von Asset-Komponenten. Diese Funktionen arbeiten zusammen, um branchenführende Wafer-Prozessleistung zu bieten.