Gebraucht NIKON NSR #293668735 zu verkaufen

NIKON NSR ist ein Wafer-Stepper, der in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Dieses Tool ist ein von NIKON entwickelter lithographischer Projektionsstepper, der kleine Funktionen bis zu 35 nm auf dünnen und gleichmäßigen Wafern präzise herstellen kann. Es verfügt über eine optimierte Schrittsteuerung und arbeitet auf einer stabilen Plattform. Dieser Stepper bietet ausgezeichnete Musterüberlagerung, Musterplatzierung Genauigkeit und Wiederholbarkeit. NSR verfügt über eine integrierte reflektierende Abbildungsoptik und eine breite numerische Apertur, die hochauflösende Muster mit ausgezeichnetem Durchsatz liefert. Diese Funktion ermöglicht auch die einfache und zuverlässige Erkennung von Maskenfehlern. Der Stepper bietet hohe Leistung, Langzeitstabilität und eine einstellbare Punktgröße, die für die Pixelierung von Musterelementen sorgt. Um eine gleichbleibende Leistung und Ausbeute zu gewährleisten, ist NIKON NSR mit einer selbstkalibrierenden Waferstufe ausgestattet, die den Abstand zwischen dem Beleuchter und dem Wafer genau messen kann. Dieses Gerät verfügt zudem über eine hocheffiziente Motorsteuerung zur präzisen Positionierung des Wafers im Herstellungsprozess. Der Stepper enthält auch Servo Correction Unit, die in der Lage ist, schnelle Korrekturen während der Strukturierung vorzunehmen. Darüber hinaus verfügt NSR auch über eine Hochleistungs-Temperaturregelmaschine mit einer präzisen Heiz- und Thermostatregelung, die die Wafertemperatur im Bereich von 20 bis 50 ˚C präzise steuern kann. Diese Funktion reduziert auch die Wartung und eliminiert thermische Drift im Musterprozess. Darüber hinaus nutzt der Stepper SynchroScan-Werkzeugtechnologien, um mehrere Wafer innerhalb kurzer Zeit schnell zu bearbeiten. Dieses Asset bietet zudem eine hervorragende Automatisierungsunterstützung, da Benutzer die Parameteranpassungen im Voraus einstellen und die Wafergrößen schnell anpassen können. Insgesamt ist NIKON NSR ein Schritt-Hochleistungssteindruckvorsprung, der zu genau und schnell das Fabrizieren gemusterter Mikrostrukturen mit der ausgezeichneten Wiederholbarkeit und Prozesssteuerung fähig ist. Dieses Werkzeug bietet kostengünstige und zuverlässige Lösungen für die Herstellung von Kleinstteilen und Wafern.