Gebraucht NIKON NSR #293819945 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293819945
Wafergröße: 8"
Stepper, 8"
Missing parts:
WST electromagnetic damper controller
XY power amplifier
Interferometer laser
LLTC electronic cryostat
RT drive unit (RX axis)
RT drive unit (RL axis)
RT drive unit (RR axis)
Chamber blower
WL3PRE2 board
ST power supply
OPD power supply
W/L power supply
R/L power supply
TTLXY board
LC relay board
VAX monitor
R/L MAIN I/F board
MSEC converter.
NIKON NSR ist eine fortschrittliche Wafer-Stepper-Ausrüstung, die eine effiziente Produktion integrierter Schaltungen ermöglicht. Es ist ein komplettes Mustererzeugungssystem, das eine Retikel-, Bewegungssteuereinheit und eine voll computergesteuerte optische Maschine kombiniert. Unter Verwendung einer 0,25 NA-Projektionsoptik und einer CCD-Kamera ist NSR in der Lage, die Chip-Level-Produktion für eine breite Palette von IC-Produktion zu erreichen. Das Werkzeug nutzt eine Auslegerstufe mit 6 Freiheitsgraden und einer Genauigkeit von 1,5 μ m. Die Retikelstufe wurde entwickelt, um eine hohe Genauigkeit und Präzision während des gesamten Produktionsprozesses zu gewährleisten. Darüber hinaus sorgt seine Positionssteuerung in Verbindung mit dem Umweltsteuermodell für eine stabile Umgebung und minimiert den Geräuschpegel während des Produktionszyklus. Das Gerät integriert auch NIKON Adjustment Method (NAD), die eine automatische Einstellung des optischen Systems sowie die mechanische Balance der Maschine gewährleistet. Dadurch wird eine höhere Genauigkeit der Musterabbildung gewährleistet. NIKON NSR verfügt auch über NIKON Step-and-Repeat (NSR) Unit, die eine breite Palette von Anwendungsszenarien ermöglicht, wie das Schreiten mehrerer Chips auf einem Wafer in einem Abbildungszyklus. Die Optik der Maschine ist aus zwei Off-Axis, zwei Axicons, einem Aberration Corrector und einer Sicherheitslinse aufgebaut. Diese Konfiguration gewährleistet eine überlegene Bildgebungsleistung mit einer Vielzahl von Arbeitsabständen. Das Werkzeug ist außerdem mit einem kontinuierlichen optischen Element ausgestattet, das eine schnelle Bildgebung mit reduzierter Belichtungszeit und hoher Produktivität ermöglicht. NIKON NSR Wafer Stepper wurde für optimale Prozessintegration konzipiert. Es ist in der Lage, einen vollautomatischen Produktionszyklus bereitzustellen, der Hardwaremodellprüfung und -ausrichtung sowie mechanische und optische Abstimmung umfasst. Darüber hinaus unterstützt das Gerät eine Vielzahl von Musterkorrekturalgorithmen sowie die Möglichkeit, die Belichtungseinstellungen während des Produktionsprozesses anzupassen. Insgesamt ist der NSR-Wafer-Stepper in der Lage, effiziente IC-Produktionszyklen mit hoher Genauigkeit und Produktivität zu ermöglichen. Seine innovativen Eigenschaften machen es zu einer idealen Wahl für die Produktion auf Chipebene und bieten weiterhin überlegene Leistung und Qualität in der Halbleiterindustrie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor