Gebraucht NIKON NSR #293819949 zu verkaufen

NIKON NSR ist ein Wafer-Stepper, der für seine überlegene Leistung bei der Erfüllung der Anforderungen unterschiedlichster Anforderungen an die Herstellung und Reparatur von Photomasken und Retikeln anerkannt ist. Das Gerät verfügt über branchenführende NA-Objektive (High Numeric Aperture), die eine verbesserte Auflösung, Kontrastempfindlichkeit und Durchsatz ermöglichen. Darüber hinaus ist NSR mit einer einfachen, benutzerfreundlichen Konsole für eine intuitive Bedienung ausgestattet und bietet eine breite Palette von Feldgrößen und Belichtungseinstellungen, um praktisch jede Reticle-Anwendung abzuschließen. In einer typischen Anwendung arbeitet NIKON NSR mit dem 4-stufigen Scan-Reticle-Bildgebungsverfahren. Dazu gehören eine Retikelaufbereitungsstation, eine optische Mikroskopausrichtstation, eine Belichtungsstation und eine Nachbelichtungsinspektionsstation. Die Aufbereitungsstation dient zur Reinigung, Beschichtung, Ausrichtung und Inspektion des Retikels. Die Ausrichtstation besteht aus einem Linsensystem zum Abbilden des Retikels sowie einem automatisierten Ausrichtsystem zum Auffinden des besten Belichtungsfeldes und -ortes. Die Belichtungsstation dient zur exakten Positionierung und Belichtung des Wafers auf dem Retikel mit dynamischer Fokusregelung für bestmögliche Gleichmäßigkeit. Schließlich wird zur Bestätigung der Prozessqualität eine Nachbeobachtungsstation für eine schnelle Vor-Ort-Inspektion des exponierten Wafers eingesetzt. NSR Wafer Stepper enthält auch verschiedene Technologien für Belichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit, wie eine einzigartige High-NA Optics Konfiguration, modulierte Tiefenschärfe (MOD) Technologien, und dreidimensionale (3D) Registrierung für eine hervorragende Kombination von Oberflächengenauigkeit und laterale Feature Overlay. MOD-Technologien ermöglichen auch verbesserte Auflösungs- und Durchsatzleistungsfunktionen. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR über mehrere Optionen zur erweiterten Steuerung, einschließlich prozessabhängiger Dosissteuerung mit variabler Exposition sowie Substrat-ID-Auto-Erkennung. Diese Eigenschaften führen zu einem überlegenen Produktions-Grade-Retikle-Prozess und bieten Praktikern branchenführende Präzision und Genauigkeit. NSR-Wafer-Stepper ist ideal für Halbleiterbauelementehersteller, die eine verbesserte Auflösung, einen verbesserten Musterkontrast und eine gleichmäßigere Strukturierung über ein größeres Sichtfeld benötigen. Dies führt zu verbesserten Ausbeuten und besserer Leistung der Vorrichtung. Alle Komponenten arbeiten in einem einheitlichen System zusammen und bieten hervorragende Leistung, Ertrag und Produktionseffizienz.