Gebraucht NIKON / NTS NSR-2150 #293650967 zu verkaufen

NIKON/NTS NSR-2150 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der hauptsächlich für das Lithographieverfahren in der Halbleiterwaferherstellung eingesetzt wird. Es arbeitet nach dem Double-Exposure Step-and-Repeat-Prinzip und bietet eine Auflösung von bis zu 0,3 μ m bei einer Overlay-Genauigkeit von 1/2 eines μ m. Die Maschine ist kompakt und dennoch vielseitig einsetzbar und verfügt über leistungsschonende Designs, darunter ein Hochgeschwindigkeits-Netzwechselgerät mit 0,275 Sekunden und eine „intelligente“ Heizungssteuerung für die Bühnenheizung. NTS NSR-2150 nutzt eine lange Lebensdauer 6 ″ F2.4 optisches System und zwei Okulare, um Konsistenz zu gewährleisten. Das Gerät ermöglicht auch eine manuelle Fokussierung und hat eine Auflösung der Telezentrizität 1. Ordnung bei einer Wellenlänge von 436 nm, wodurch Pegel von 1/2 μ m Overlay-Genauigkeit und 0,4 μ m Kantenerkennungsgenauigkeit erreicht werden. Die Stufe hat einen maximalen Hub von 300 × 300 mm und wird von einer digital gesteuerten beweglichen Bühne mit hochgenauen digitalen optischen Encodern und Temperatursensoren angetrieben. Es enthält auch Autoheim-, Stufenfehlerkorrekturen und einstellbare Spindeln. Die Achskomponenten der Bühne sind symmetrisch eingestellt, um präzise und gleichzeitige X/Y-Bewegungen zu gewährleisten. NIKON NSR-2150 wurde entwickelt, um komplexe Musterbelichtungen mit einer Vielzahl von Algorithmen wie Rotate, Mirror und Asymmetric Multiple Inverse Scan zu bewältigen. Darüber hinaus stehen mehrere Linsenkorrektur- und Kompensationsfunktionen zur Verbesserung der Schussbelichtung zur Verfügung, wie beispielsweise eine variable programmierbare Merkmalskorrektur und eine dynamische Flare-Kompensation. Der Stepper verfügt zudem über eine grafikorientierte Bedienoberfläche, die die Bedienung der Maschine einfacher und intuitiver macht. NSR-2150 ist sehr zuverlässig, mit einer Designlebensdauer von 10 Millionen Schüssen und ist ISO-zertifiziert nach den internationalen Leistungs- und Sicherheitsstandards. Darüber hinaus verfügt der Stepper über ein integriertes Ereignisprotokoll zur Verfolgung, Speicherung und Überprüfung vergangener Prozesse. Dies sichert sowohl die Datenintegrität als auch die Produktqualität. Abschließend ist NTS-2150 ein leistungsfähiger und präziser Wafer-Stepper mit den für die moderne Halbleiter-Wafer-Fertigung notwendigen Eigenschaften und Fähigkeiten. Es ist schnell, zuverlässig und relativ einfach zu bedienen und ermöglicht eine effizientere, kostengünstigere und präzisere Herstellung von integrierten Schaltungen.