Gebraucht NIKON PL-2 #293659411 zu verkaufen

NIKON PL-2 Wafer Stepper ist ein 8-Zoll-Wafer Ausrichtung Stepper, der zum Drucken von Mikroschaltungen auf Halbleiterscheiben verwendet wird. Es bietet die höchste Ausrichtungsgenauigkeit und unübertroffene Bildqualität für eine überlegene Geräteherstellung. PL-2 setzt fortschrittliche Technologien der optischen Technik ein, um seine hochwertige Bildgebung zu erreichen und bietet fokussierte und gleichmäßig beleuchtete Bilder in einer Vielzahl von Hintergrundfarben und -ebenen. Die Präzisionstechnik sorgt für einen Hochdurchsatzprozess durch Minimierung des Waferverderbens im Schrittbetrieb. Der preisgekrönte NIKON PL-2 Wafer Stepper ist mit einem Double Swing Arm Mounting Method (DSAM) für eine höhere Wiederholbarkeit der Ausrichtgenauigkeit und erhöhten Durchsatz in der Produktion ausgestattet. Das DSAM-System besteht aus einem ergonomischen Overhead-Arm mit überlegener Bauteilgenauigkeit und einem präzise entwickelten Basisarm mit verstellbaren Gelenken. Es verwendet eine Kombination aus präziser Drei-Achsen-Bewegungssteuerung, hochauflösender optischer Bildgebung und automatisierter Ausrichtung der Wafer-Chips für hochgenaue Overlay-Ausrichtungsoperationen. PL-2 Wafer-Stepper verwendet ein Reflex Alignment System (RAS) für eine schnelle, präzise und einfach zu bedienende Waferausrichtung. Es verfügt über einen Intra-Wafer-Roboter zur weiteren Verbesserung der Schrittleistung und einen direkt angetriebenen Roboterantrieb, um den Wafer für Vollfeldscan und -ausrichtung über das Sichtfeld zu bewegen. Das RAS liefert auch hervorragende Ergebnisse für Doppelbelichtungen und ermöglicht eine direkte Überlagerungsgenauigkeit von bis zu ± 3 μ m für kritische Prozessschichten. NIKON PL-2 Wafer-Stepper ist in der Lage, Transistor- und Kondensator-Level-Bauelemente in Feinzeilenabbildungsanwendungen herzustellen. Es unterstützt sowohl Hochgeschwindigkeits- als auch Hochpräzisionsaufträge mit Auflösungen bis zu 0,25 μ m und Funktionsgrößen bis zu 6 μ m. Es bietet auch eine breite Palette von Belichtungswellenlängenspalten, von ultraviolett bis langwellig infrarot, um verschiedene Wellenlängenanwendungen aufzunehmen. PL-2 Wafer-Stepper bietet erweiterte Überwachungsfunktionen mit einer Prozesssteuerungsfunktion auf dem Bildschirm, mit der Benutzer Prozessstatus- und Leistungsdaten in Echtzeit anzeigen können. Das System bietet auch langfristige Wartung und Zuverlässigkeit mit einer Reihe von präventiven Wartungsprogrammen. Darüber hinaus verfügt das Umweltdesign über eine staubfreie Kammer und einen minimalen Platzbedarf für einen effektiven Einsatz auf engem Raum.