Gebraucht NIKON S202 #293825804 zu verkaufen
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ID: 293825804
Scanner
Renesas upside: +8K/m tool
DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF)
Host station.
NIKON S202 ist ein Wafer-Stepper, der von NIKON Corporation, einem führenden Hersteller fortschrittlicher bildgebender und präziser Geräte, entwickelt wurde. Es ist für den Einsatz in Halbleiterherstellungsverfahren, wie Photolithographie, zur Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs). Der Stepper verfügt über eine 6-Feld-optische Ausrüstung mit einer Vielzahl von optischen Komponenten, die eine Mehrfachbelichtung aus verschiedenen Winkeln ermöglichen und eine wiederholbare Mustergenauigkeit ermöglichen. Das Beleuchtungssystem enthält ein 6-Positions-Zoomobjektiv, das eine Belichtungsfeldgröße von 0,75 bis 8,0 mm liefert, und die Belichtungszeit kann zwischen 3 und 10 Sekunden gewählt werden. Zusätzlich ist es mit einer automatischen Ausrichteinheit mit hochgenauer Bühneneinrichtung zur optimalen Ausrichtung von Wafer und Maske ausgestattet. S202 verfügt zudem über ein benutzerfreundliches Bedienfeld mit einem farbenfrohen LCD-Monitor, der eine hervorragende Sichtbarkeit bietet. Der Stepper ist mit Umgebungssensoren wie einer Temperaturerfassung und wenigen Luftströmungssensoren ausgestattet, um eine stabile Betriebsumgebung zu gewährleisten. Diese Maschine verfügt auch über ein automatisches Kalibrier- und Überwachungswerkzeug, das eine schnelle und präzise Feinjustierung der optischen Feldausrichtung jederzeit mit einer maximalen Genauigkeit ermöglicht. Die Datenübertragung erfolgt über einen Gigabit Ethernet- und USB-Anschluss zur einfachen Integration in externe Datensysteme. Der Stepper weist auch eine Besonderheit auf, den Ausgangsfehlersensor, der Vorhandensein von Partikeln, Fremdstoffen oder anderen Defekten auf der Resistoberfläche erkennen kann. Darüber hinaus verfügt NIKON S202 über eine eingebaute Kühlanlage, die die Belichtungslaufzeit und den Stromverbrauch zur Steuerung der hohen Temperaturen während der Belichtungserreichung erheblich reduziert. Der Stepper ist auch leicht, mit einer kompakten Bauweise, die kleine Waferausrichtung ermöglicht, die ideal für Prototyping-Anwendungen ist. Der Stepper ist auch mit Software zur Datenverwaltung ausgestattet und verfügt über eine Fernbedienung auf dem Touch-Panel für einfache Bedienung und Komfort. Darüber hinaus verfügt es über Job-Speicher und automatischen Maskenplattenaustausch für eine erhöhte Produktionseffizienz. Alles in allem ist S202 ein gut gestalteter Wafer-Stepper mit einer Vielzahl von Funktionen, die es ideal für den Einsatz in Photolithographie-Prozessen machen. Es ist hochpräzise, effizient und benutzerfreundlich, so dass es eine gute Wahl für eine Vielzahl von IC-Fertigungsoperationen.
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