Gebraucht NIKON SF 130 #293829385 zu verkaufen

NIKON SF 130
Hersteller
NIKON
Modell
SF 130
ID: 293829385
Wafergröße: 12"
i-Line stepper, 12".
NIKON SF 130 ist ein Waferstepper zur Herstellung von Halbleiterbauelementstrukturen. Es ist eine fortschrittliche Gerätebildausrüstung, die in der Lage ist, eine Vielzahl von bildgebenden Aufgaben auszuführen. Dieser Wafer Stepper bietet überlegene Systemleistung, hohen Durchsatz und Betriebszeit. Es wurde entwickelt, um die nächste Generation von Halbleiterbauelementen herzustellen. NIKON SF130 ist mit einer Freiform-Immersionsoptik ausgestattet, die überlegene Abbildungsmöglichkeiten sowie eine höhere Tiefenschärfe für eine verbesserte Bildgebung gegenüber anderen konventionellen Rollensystemen bietet. Eine größere Tiefenschärfe hilft auch, Ghosting und Astigmatismus zu reduzieren und gleichzeitig Genauigkeit und Präzision zu erhöhen. Die Maschine ist mit einem fortschrittlichen Schnellspannwerkzeug ausgestattet, das die Betriebsgeschwindigkeit verbessert. Es ist auch für einfache Wartung konzipiert, mit einer vorpassenden Linsenanordnung und einer integrierten Linsenreinigung. SF 130 arbeitet mit einem fortschrittlichen, auf Vision basierenden Ausrichtungsmodell. Dieses Gerät bietet eine schnelle Aktualisierung der Ausrichtung und kann mehrere Bilder analysieren, um sicherzustellen, dass die Maske genau auf dem Wafer ausgerichtet und positioniert ist. Das Ausrichtsystem überwacht auch die Waferposition kontinuierlich und kann bei Schaltungen automatisch korrigieren. Dies reduziert Fehler und erhöht die Produktivität. SF130 wird von einer hostbasierten Softwareeinheit gesteuert. Die Maschine integriert alle Werkzeugfunktionen, einschließlich Benutzeroberflächen, Diagnose, Messung, Bildgebung, Simulation, Datenerfassung und Vermögenssteuerung. Es bietet ein intuitives grafisches Benutzerdesign, das für hohen Durchsatz und präzise Ergebnisse optimiert ist. Angetrieben wird das Modell von einem leistungsstarken Mustergenerator und einer Hochgeschwindigkeitsstrahlsäule, die es ermöglicht, mit Geschwindigkeiten von bis zu 500 Wafern pro Stunde zu arbeiten. Es arbeitet mit geringen Geräuschen und Vibrationen und gewährleistet eine stabile Prozessumgebung. Das Gerät verfügt zudem über eine überlegene FOUP-to-FOUP-Kapazität, die es ermöglicht, bis zu 1.000 Wafer gleichzeitig zu handhaben. Insgesamt ist NIKON SF 130 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der überlegene Systemleistung, hohen Durchsatz und Betriebszeit bietet. Es wurde entwickelt, um die Herstellung von Halbleiterbauelementen der nächsten Generation mit seiner überlegenen Vision-basierten Ausrichtungseinheit, einer Hochgeschwindigkeits-Strahlsäule und einer fortschrittlichen proprietären Vision-basierten Ausrichtungsmaschine zu erleichtern.
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