Gebraucht NIKON / TEL / TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A #9299967 zu verkaufen

NIKON/TEL/TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A ist ein tiefer ultravioletter (DUV) Stepper, der in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Die 300mm-Stepper-Plattform bietet einen hohen Durchsatz und eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit bei Wafer-Musterprozessen sowie eine hohe Genauigkeit und Auflösung für die Herstellung führender, ultrafeiner Funktionen. Die Maschine ist in der Lage, bis zu 24 Schichten dichter Schaltungen auf einem einzigen Wafer zu strukturieren. TEL NSR 1755 G7A ist in der Lage, bei einer Wellenlänge von 248nm zu arbeiten, und verfügt über eine große Feldgröße von bis zu 21 × 24 mm2. Die Feldgleichförmigkeit über die gesamte Fläche ist sehr beeindruckend und erreicht 0,3 Prozent oder besser auf Aktorebene. Dies führt zu einer extrem hohen Überlagerungsgenauigkeit während eines beliebigen Musterprozesses auf der Maschine. Das G7A verfügt über ein Schritt- und Wiederholungssystem für das Layer-Mapping, das eine präzise Ausrichtung beim Platzieren der Matrize auf dem Wafer gewährleistet. Es verfügt außerdem über einen integrierten optischen Verzerrungskompensator zur Minimierung von Kantenverzerrungen während der Belichtung und einen lokalen Fokusmonitor zur kontinuierlichen Leistungsoptimierung. Der Stepper ist mit drei Messtechnik-Systemen ausgestattet, mit denen er entscheidende Dimensionswerte (CD) schnell erkennen und mögliche Fehler kompensieren kann. Die G7A ist sehr zuverlässig und erfordert keine nennenswerte Wartung. Es hat eine mittlere Zeit zwischen Ausfällen (MTBF) von 13.800 Stunden, verglichen mit 10.500 Stunden für das frühere Modell, und kann 450 Wafer in 24 Stunden behandeln. Es arbeitet auch reibungslos bei Temperaturen von 10 bis 28 Grad Celsius, mit einer relativen Luftfeuchtigkeit von 60 Prozent oder weniger. In Kombination mit seiner hohen Genauigkeit und Gleichmäßigkeit ist NIKON NSR 1755 G7A eine ideale Wahl für die Herstellung von kritischen Musteranwendungen der nächsten Generation. Der schnelle Durchsatz, die hohe Auflösung und die zuverlässige Leistung machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Halbleiterhersteller.