Gebraucht OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC #9180829 zu verkaufen

ID: 9180829
Nano imprint lithography system.
OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper für hochpräzise Lithographieanwendungen. Es wurde entwickelt, um überlegene Ergebnisse in einer Reihe von UV-Belichtungsanwendungen zu liefern. Es handelt sich um einen automatisierten maschinenbasierten Stepper mit einem hochmodernen anwendergesteuerten Logiksystem. NIL-60-SS-UV-VC besteht aus einem Hauptgehäuse mit den Komponenten der Maschine und einer integrierten Touchscreen-Schnittstelle. Es enthält einen motorisierten Schrittmotor, eine mechanische Vorrichtung zur Steuerung der relativen Position zweier Komponenten. Es ist für präzise und wiederholbare Leistung ausgelegt, mit der Fähigkeit, die Geschwindigkeit, Richtung und die Menge der Schritte zu steuern, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Der Stepper kann auf die Anwendung abgestimmt werden, wobei Geschwindigkeit, Beschleunigung, Linearität, Spiel und Genauigkeit bestimmt werden. Der Wafer, auf dem die Belichtung durchgeführt wird, wird auf einer geschlossenen schleifengesteuerten Tischplattform platziert, was eine genaue Positionskontrolle und eine stabile Bewegungssteuerung gewährleistet. Die Plattform verfügt über ein manuelles Waferschloss sowie einen Kraftrückkopplungsmechanismus für bessere Genauigkeit. Der Tisch ist auch für kleine und normale Waferbelastung ausgelegt. Der Belichtungslaser ist auf OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC montiert, während bei Bedarf zusätzliche Laserquellen hinzugefügt werden können. NIL-60-SS-UV-VC verfügt auch über mehrere Sicherheitsmerkmale, einschließlich Not-Aus-Tasten und Türverriegelung, UV-Lichtvorhang, Laser-Decken, Vibrationsisolierungssystem, rezirkulierende Wasserkühlung und einen Ionisator. Es verfügt auch über kalte Temperaturregelung, einstellbare Lichtquellen, einen Sensor zur Erkennung von Fremdmaterial auf der Bühne und einen akustischen und visuellen Alarm. OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC ist kompatibel mit OBDUCAT TAIM Software, so dass eine Fernbedienung der Maschine. Es ist in der Lage, sich im Falle eines Alarms oder einer anderen Störung abzuschalten. Die TAIM-Software ist auch in der Lage, Daten zu speichern, sowie Fernüberwachung für Fehlerbehebung, Datenprotokollierung und Echtzeitanalyse. NIL-60-SS-UV-VC kann verwendet werden, um eine breite Palette von Lithographieanwendungen durchzuführen, einschließlich UV, Deep UV, DUV und VUV-Exposition, sowie Dual-Exposition und Sub-Resolution-Exposition.
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