Gebraucht SCIVAX Flan-200-U100-4 #9205055 zu verkaufen

SCIVAX Flan-200-U100-4 ist ein automatisierter Wafer-Stepper, der eine präzise Ausrichtung und Belichtung von Halbleiterscheiben während des Photolithographie-Prozesses ermöglicht. Es kann bis zu 4 Wafer gleichzeitig in einer Größe von 200 mm verarbeiten - die größte verfügbare Wafergröße. Es bietet eine erleichterende Umgebung für seine Benutzer mit Bank-Top-Layout, manuelle Kassettenladung, bis zu 4-seitige Ausrichtung, ein Batch-Scheduler-Programm und eine hochpräzise Schrittmechanismus. Flan-200-U100-4 kann für eine breite Palette von photolithographischen Anwendungen wie Abscheiden, Aschen und Ätzen auf Wafern verwendet werden. Es hat ein breites einstellbares Beleuchtungsfenster und kann Wafer bis 2000 mm Größe freilegen. Darüber hinaus sind seine Lichtquelle und Detektoreinheiten so konfiguriert, dass sie konsistente und genaue Belichtungen und Orientierungen von Wafern gewährleisten. Das Batch Scheduling System und das Image Capture Programm vereinfachen den Betrieb des Steppers weiter. Der Stepper verfügt über mehrere Funktionen, die eine wiederholbare Verarbeitung von Wafern ermöglichen, wie ein automatisches Belichtungsprogramm, automatische Registrierung, automatische Erkennung und automatische sequenzielle Belichtungsausrichtung. All dies ermöglicht es dem Stepper, Wafer automatisch zu bearbeiten, ohne dass eine Benutzersteuerung erforderlich ist. Darüber hinaus werden alle Arbeitsgänge des Steppers mit einem geringen Geräuschpegel unterstützt und der Stepper bleibt durch seine effizienten Flüssigkeitskühl- und Abluftsysteme kühl (33-35 ° C). Seine X/Y-Tabelle ist hochgenau und ermöglicht eine 1um- und 0.1-Grad-Ausrichtung mit hervorragender Wiederholbarkeit sowohl in X- als auch in Y-Achsen und einer voll ausgestatteten Teach-In-Schnittstelle für eine einfachere Programmierung integrierter Bildsystemkorrekturprogramme. Es verfügt über zwei Lichtquellen für eine optimale Belichtung der Wafer, mit einer Quecksilber-Xenon-Kurzbogenlampe mit 1000W oder einer Krypton-Xenon-Lampe mit 500W Optionen für eine breite Belichtungszeit. Der Stepper enthält auch ein AMHS Robot Contro Interface (ARC-2), das zur automatischen und genauen Montage von Wafern für den Belichtungsprozess ohne manuellen Eingriff verwendet wird, und eine automatisierte Entwicklereinheit, die verwendet wird, um Fehler für die besten Waferergebnisse zu erkennen und zu erkennen. Im Rahmen seiner Sicherheitsmaßnahmen ist SCIVAX Flan-200-U100-4 mit einem Not-Aus-Schalter versehen, der die Lichtquelle und Detektoreinheiten beim Anheben automatisch stoppt, sowie mit einem Filter zum Blockieren von gefährlichem ultraviolettem Licht, das während des Betriebs emittiert wird. Der Stepper hat auch eine eingebaute Laserschutzabdeckung, die den Benutzer auf jede wahrgenommene Gefahr aufmerksam macht und bei Bedarf die Lichtquelle und die Detektoreinheiten automatisch abschaltet. Flan-200-U100-4 ist ein automatisierter, hochpräziser Wafer-Stepper, der eine automatisierte Ausrichtung, Belichtung und Registrierung von Halbleiterwafern ermöglicht. Mit seinen vielfältigen Sicherheitsfunktionen, der benutzerfreundlichen Oberfläche und dem robusten Aufbau ist SCIVAX Flan-200-U100-4 eine ausgezeichnete Wahl für Photolithographie-Prozesse.