Gebraucht SCIVAX Flan-200-U100-4 #9209082 zu verkaufen

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SCIVAX Flan-200-U100-4
Verkauft
ID: 9209082
Nano imprint.
SCIVAX Flan-200-U100-4 ist ein spezialisierter Wafer-Stepper zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist eine vielseitige Maschine, die hochpräzise Hochleistungsmuster in einer Vielzahl von Materialien herstellen kann. Die Maschine verfügt über eine 200 mm große Vier-Zoll-Waferstufe und wird mit bis zu 100 Watt Leistung bewertet. Die Schicht-Schicht-Genauigkeit liegt innerhalb von 1 Mikrometer, und der Stepper bietet hochauflösende Fähigkeit bis zu 0,4 Mikrometer. Die Maschine wurde entwickelt, um präzise Merkmale und Muster auf Mikroebene auf Wafern oder Substratschichten herzustellen. Es ist auch in der Lage, Strukturen mit hohem Seitenverhältnis zu strukturieren. Es ist mit einem Bildverstärker ausgestattet, der die genaue Positionierung und Navigation des Wafers während der Verarbeitung gewährleistet. Das Optiksystem ist für Hochgeschwindigkeits-Scanning mit Submikron-Genauigkeit ausgelegt. Die Maschine nutzt ein variables Shape-Zone Plate (VZP) Imaging-System für maximale Overlay-Genauigkeit. Der Stepper eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von der Herstellung von MEMS-Bauelementen über die Verpackung von Halbleiterbauelementen bis hin zur Substratführung. Es ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Materialien zu arbeiten, einschließlich Polymere, Metalle und Keramik. Es funktioniert gut mit dünnen und dicken Folien und hat eingebaute Unterstützung für Trockenätzen. Der Stepper hat eine maximale Mustergröße von 200 x 200 mm, eine maximale Belichtungsrate von 0,4 Mikrometer/s und eine maximale Auflösung von 0,2 Mikrometer. Der Stepper verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Analysewerkzeuge, einschließlich eines Fehlerinspektionswerkzeugs für die Punktgröße und Erkennbarkeit. Das Bildintensitätswerkzeug sorgt dafür, dass das Bild genau und rauschfrei ist. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine automatisierte Kalibrierungsfunktion, die die Präzision der Maschine im Laufe der Zeit aufrechterhält. Flan-200-U100-4 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der in der Lage ist, eine Vielzahl von präzisen Mikroebenen-Mustern auf einer Reihe von Materialien zu erzeugen. Es ist für viele Anforderungen an die Halbleiterproduktion gut geeignet und bietet eine hervorragende Genauigkeit und Leistung.
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