Gebraucht SVGL Micrascan MPT #9246179 zu verkaufen

Hersteller
SVGL
Modell
Micrascan MPT
ID: 9246179
Wafergröße: 8"
Scanner, 8" DUV, 193 nm Catadioptric lens (Reflective and refractive optical elements).
SVGL MicroScan MPT ist ein vollautomatischer Wafer-Stepper, der die Nicht-Produktivität reduziert und den Waferdurchsatz von Anfang an verbessert. Es bietet eine vollautomatische, schnelle und zuverlässige Handhabung von gemischten Produkten. Die Software ermöglicht auch eine präzise Positionierung und Fokussierung von Wafern zur schnellen Ausführung von Lithographieanwendungen. Der Stepper verfügt über Zwei-Achsen-Bewegungssteuerung mit drei Kernachsen für überlegene Genauigkeit und Leistung. Sein mechanisches Design besteht aus einer fortschrittlichen hochauflösenden Galvanometer-Scan-Ausrüstung für einstellbare Scangeschwindigkeit und eine einstellbare Auflösung, die eine präzise Positionierung und Targeting von Wafern ermöglicht. Seine Optik umfasst eine Präzisions-CCD-Kamera, hochauflösende Objektive und fortschrittliche lithographische Objektive für überlegene Auflösung und Genauigkeit. Die Steuerungssoftware des MicroScan MPT umfasst eine Vielzahl automatisierter Routinetests und Feedback-Funktionen, die eine kontinuierliche und präzise Kontrolle ermöglichen, um Drucke von höchster Qualität zu gewährleisten. Es bietet eine Reihe von Produktionsüberwachungsfunktionen, die eine detaillierte Ausgabe von Schrittbewegung, Waferausrichtung und Fehlern bieten. Es verfügt auch über eine Reihe von Datenprotokollierungsfunktionen, mit denen Benutzer die Leistung analysieren und mögliche Probleme identifizieren können. Der Stepper unterstützt eine Vielzahl von Produktformaten vom Großformat 200 mm bis 300 mm Wafer und nutzt eine umfangreiche Bibliothek mit Lithographieschablonen. Die automatisierte Gerätediagnose überwacht alle Fehler und stellt sicher, dass Fehler schnell erkannt und behoben werden. Der MicroScan MPT ist für einen äußerst zuverlässigen Betrieb und schnelle Zykluszeiten ausgelegt, um den Produktionsdurchsatz zu verbessern. Der Stepper umfasst ein robustes Sicherheitssystem, einschließlich einer Notabschaltfunktion, zum Schutz von Personal und Ausrüstung im Notfall. Die benutzerfreundliche Oberfläche und das einfache Setup des Steppers machen es einfach, mit der Ausrüstung zu beginnen. Die fortschrittliche Steuereinheit ermöglicht eine robuste Konfiguration und Echtzeitüberwachung aller Maschinenparameter während der Verarbeitung. Die Maschine enthält auch eine in-situ Track-and-Trace für die Rückverfolgbarkeit von Wafern in jedem Schritt des Prozesses, der Datenprotokollierung und der historischen Archivierung. Insgesamt bietet SVGL MicroScan MPT eine robuste und zuverlässige Lösung für heterogene Prozesse, die effiziente Verarbeitungszeiten und hochgenaue Drucke ermöglicht. Der Stepper liefert hochauflösende, wiederholbare Ergebnisse und eine umfassende Diagnose, um eine qualitativ hochwertige Produktion und einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor