Gebraucht TAMARACK M304 #9398334 zu verkaufen

Hersteller
TAMARACK
Modell
M304
ID: 9398334
UV Projection scanner, parts system.
TAMARACK M304 ist ein fortschrittlicher und zuverlässiger optischer Stepper, der speziell für die Mikrochipindustrie entwickelt wurde. Der Stepper verwendet eine hochpräzise Platzierungsausrüstung, die höchste Präzision und wiederholbare Genauigkeit während des Geräteabschlussprozesses gewährleistet. Das Fünf-Achsen-Bewegungssystem mit mehreren Kameras ermöglicht schnelle Durchsatzraten und erleichtert die Produktion von Produkten mit hoher Ausbeute. M304 verfügt über eine 200mm Waferbühne, die Wafer bis zu 8 Zoll groß handhaben kann. Der Stepper enthält auch eine benutzerdefinierte Belichtungssäule für die Dämpfungssteuerung an jedem Wafer-Standort. Diese Expositionssäule ermöglicht auch breitbandige Hochtreue-Exposition, die die Wahrscheinlichkeit von Belichtungsfehlern während des Belichtungsprozesses reduziert. Darüber hinaus trägt die integrierte Mikrolinsen-Abtasteinheit zur Minimierung von Pixelaberrationen bei und stellt sicher, dass jede Matrize eine genaue Belichtung erhält. Der Kompensationsmechanismus für hohe Biegestufen der Maschine kann Fehlstellungen bis zu 1 Mikron korrigieren, was zur Reduzierung von Waferabfällen beiträgt. Die Maschine verfügt auch über eine Multi-Achsen-Scan-Stufe mit einer 50 kHz Scan-Geschwindigkeit, die Hochgeschwindigkeits-dynamische Scan an jedem Wafer-Standort ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht der mehrauflösende Bildgebungspfad des Tools eine ultrahochauflösende Bildgebung und ermöglicht die Bildaufnahme in weniger als 1 Sekunde. Dieser Stepper bietet auch fortschrittliche Algorithmen zur Zielerkennung und Fokusentwicklung, die dazu beitragen, Belichtungszeit und Fokusfehler zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt die Anlage über ein Mehrzonen-Dosissteuerungsmodell, mit dem der Benutzer die Dosiswerte an jeder Waferstelle anpassen kann. Der Stepper beinhaltet auch extrem präzise und wiederholbare Vakuum- und Load/Unload-Funktionen, die für die Bildplatzierung Genauigkeit und Durchsatz wesentlich sind. TAMARACK M304 bietet erweiterte Funktionalität und extrem hohe Präzision, so dass es perfekt für den Einsatz in Mikrochip-Anwendungen. Seine Fünf-Achsen-Bewegungsausrüstung und proprietäre Expositionssäule bieten einen hohen Durchsatz und ausgezeichnete Erträge, während seine Scan- und Dosissteuerungsfunktionen eine genaue Belichtung gewährleisten. Seine Eigenschaften machen es auch einfach, sowohl für erfahrene Bediener als auch für neue Wafer-Schritttechnologien zu verwenden.
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