Gebraucht ULTRATECH 1000 #9217207 zu verkaufen

ULTRATECH 1000
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1000
ID: 9217207
Wafergröße: 6"
Projection wafer stepper, 6".
ULTRATECH 1000 ist ein Wafer-Stepper von ULTRATECH. Dieser Stepper ist eine vielseitige Maschine, die für eine Vielzahl von Photolithographie-Verfahren verwendet wird, einschließlich Resiststrippen, Abscheiden, Ätzen und Kontaktdruck. Der Stepper besteht aus einer zweiachsigen XY-Stufe mit Sub-Mikron-Genauigkeit und feiner Positionierung und Ausrichtung. Das Gerät bietet hochauflösende bildgebende Funktionen mit der Fähigkeit, Substratgrößen von 200 mm bis 375 mm zu handhaben. 1000 umfasst eine fortschrittliche motorisierte Stufe für präzise Ausrichtungen, ein XY-Vakuumfutter für die Substratplatzierung und ein geschlossenes Lasermesstechnik-System für berührungslose Echtzeit-Ausrichtung. Der Schrittmotor verwendet einen fortschrittlichen Linearmotor mit hohem Drehmoment und schnellen Reaktionszeiten, der eine ausgezeichnete Geschwindigkeit und Genauigkeit bietet. Darüber hinaus nutzt das Gerät eine Hochleistungs-LED-Beleuchtung, um eine optimale Belichtungsgenauigkeit zu gewährleisten. ULTRATECH 1000 ist mit einer computergesteuerten Laserautofokusmaschine für Feinabstimmung der Bildgenauigkeit und -qualität ausgestattet. Der Laserautofokus ist in der Lage, kleine Bildanomalien zu erkennen, um die Genauigkeit über das gesamte Sichtfeld zu gewährleisten. Darüber hinaus kommt der Stepper mit einem fortschrittlichen digitalen Servo-Feedback-Tool, das eine präzise Positionierung ermöglicht, ohne die Bühne zu bewegen. Der Wafer-Stepper verfügt zudem über hochprogrammierbare optische und Belichtungssysteme zur fortschrittlichen Resist- und Ätzoptimierung. Die optische Ausstattung gewährleistet eine korrekte Belichtung mit einer Vielzahl von Objektiven und Filtern. Das Belichtungsmodell ist in der Lage, die gewünschte Dosis für eine Vielzahl von Anwendungen bereitzustellen, indem Belichtungsparameter wie Lichtintensität, Dauer und Fokusbereich geändert werden. 1000 nutzt eine Hybrid-Antriebseinrichtung für optimalen stictionless Betrieb. Diese Funktion stellt sicher, dass das System mit minimaler Reibung und Vibration arbeitet und bietet eine ausgezeichnete Genauigkeit und Geschwindigkeit. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer erweiterten Steuerungssoftware-Suite ausgestattet. Die Software bietet benutzerfreundliche Funktionen für die Prozesseinrichtung und -steuerung und ermöglicht die Auftragsprogrammierung und das Speichern von Prozessrezepten in einem internen Speicher. ULTRATECH 1000 ist ein robuster, leistungsstarker Wafer-Stepper, der für verschiedene photolithographische Prozesse eingesetzt werden kann. Mit seinem fortschrittlichen Linearmotor, dem ultrapräzisen Laserautofokus, der optischen Maschine und der integrierten Steuerungssoftware ist 1000 eine ausgezeichnete Wahl für Wafer-Handhabungs- und Lithographieanwendungen.
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