Gebraucht ULTRATECH 1000 #9396748 zu verkaufen

ULTRATECH 1000 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper, der hervorragende Leistung und Wiederholbarkeit für die Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungsbauelemente bietet. Der Stepper bietet schnelle und präzise Lithographie-Bildgebung, um eine präzise Strukturierung und Stempelplatzierung für die Produktion mit hohem Ertrag zu ermöglichen. 1000 enthält erweiterte Mustererkennung und fortschrittliche optische Systeme, einschließlich digitaler Autofokus, direkte Aufnahmekamera, Luftlagerstufen und fortschrittliche Substrat- und Die-Mapping. Seine Breitbild-Ausrüstung ist wirklich Multi-Muster fähig, so dass effiziente Multi-Belichtung über eine gemusterte Matrize. Die extrem ultraviolette (EUV) Quelle verwendet eine 300 Watt Lichtlampe, die eine Wellenlängenauflösung von bis zu 535 nm erzeugen kann. ULTRATECH 1000 verfügt über eine beeindruckende linearmotorische Antriebsstufe, die eine schnelle Scangeschwindigkeit von bis zu 341 mm/s garantiert. Seine schnellverriegelbare auswechselbare Optik bietet eine überlegene Bildgebungsfähigkeit von bis zu 10 um Tonhöhe. Die Laser VisionMap System Technologie bietet eine Vision geführte automatische Registrierung von bis zu 0,1 µm für die Platzierungsgenauigkeit. Die EUV-Lichtquelle kann mit einem optionalen Stop-and-Go-kinematischen Retikel-Handhabungsmechanismus integriert werden, um eine minimale Zeitverschwendung beim Retikelaustausch zu gewährleisten. Die MAGNA-Seal N2 Reinigungseinheit der Installation sorgt für einen zuverlässigen Schutz vor Luftverschmutzung. Die modernen, integrierten Steuerungsfunktionen des Steppers umfassen Werkzeugalarmerfassung, automatische Musterplatzierung, Autofokus-Kalibrierung, Overlay-Management-Maschine und SEMI-konforme Wafergeometrie. Sein Werkzeug zur Werkzeugentlüftungsoptimierung steuert das Luftlager, um die Leistung des Werkzeugs zu verbessern. 1000 bietet auch verbesserte Fehlerbehandlungsfunktionen und Unterstützung für mehrere Sensoren und unabhängige Vakuumsteuerungen. Dank der hohen Integration fortschrittlicher Technologien bietet ULTRATECH 1000 eine hervorragende Wiederholbarkeit und verbesserte Ausbeute für fortschrittliche IC-Geräteherstellungsprozesse. Die schnelle Prozessleistung und der hohe Produktionsdurchsatz ermöglichen ein schnelles Prototyping und eine kostengünstige Herstellung von Mehrschichtgeräten. Der Stepper ist mit fortschrittlichen Softwaremodulen ausgestattet und mit mehreren Lithographie-Fertigungswerkzeugen kompatibel.