Gebraucht ULTRATECH 1014 #3278 zu verkaufen

ULTRATECH 1014
Hersteller
ULTRATECH
Modell
1014
ID: 3278
Vertical Double Sided Mask Cleaners.
ULTRATECH 1014 Wafer Stepper ist ein Vollfeld, fortschrittliches UV-Belichtungswerkzeug, das für die Produktion von Hochvolumenlithographie und Messtechnik entwickelt wurde. Diese vielseitige Plattform wurde entwickelt, um hervorragende Leistung, Qualität und Durchsatz bei der Entwicklung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte zu bieten. 1014 ist in der Lage, Muster mit 0,5 Mikron Auflösung und 25 nm Kantennähgenauigkeit zu produzieren, wodurch Gerätehersteller den höchsten Durchsatz und die Produktivität in der Branche erreichen können. Seine 300mm/12-Zoll-Wafer-Feldgröße und 5Kw/12.5Kw Dosisverfügbarkeit machen es auch für große Flächendeckung und hochdichte Geräte geeignet. ULTRATECH 1014 ist mit ULTRAFOUCS-Technologie ausgestattet, die überlegene Tiefenschärfe (DOF) und Waferseitenverzerrungen ermöglicht. Diese Technologie verwendet ein innovatives „Ringfeld“ -Linsensystem und andere fortschrittliche Funktionen, um kostengünstige, robuste Lithographie für 0,25 Mikron Linien-/Raummuster bereitzustellen. 1014 wurde auch entworfen, um überlegene Belichtungsstabilität und maximale Ausbeute zu bieten. Variable Belichtungstypen wie Kontakt, Nähe und Schaltbelichtungen werden unterstützt, so dass Anwender Wafer mit weniger Defekten herstellen können. Es verfügt auch über eingebaute Messtechnik-Systeme, die eine Vor-Ort-Überwachung von Prozessen in Echtzeit ermöglichen. Neben seinen Expositions- und Messtechnik-Fähigkeiten verfügt ULTRATECH 1014 auch über eine Vielzahl von Automatisierungs- und Steuerungsmöglichkeiten. Mit seinem FLEX-Verarbeitungssystem können Benutzer die Maschine programmieren, um ihre Einstellungen automatisch an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. Außerdem stehen automatisierte Optimierungstools zur Verfügung, um optimale Belichtungsbedingungen zu entwickeln. 1014 wurde auch mit einem fortschrittlichen Vision-System entworfen, das den Benutzern detaillierte Bilder von jedem Aspekt der Produktion ihres Wafers liefert. Dies kann besonders bei der Inspektion nützlich sein, so dass Benutzer bei Fehlern schnell Abhilfe schaffen können. Insgesamt ist ULTRATECH 1014 ein optimal gestalteter Wafer-Stepper, der Anwendern höchste Qualität, Durchsatz und Zuverlässigkeit bietet. Die fortschrittlichen bildgebenden und messtechnischen Systeme sorgen dafür, dass Anwender höchste Leistung, Produktivität und Genauigkeit erreichen können.
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